基于微橋結(jié)構(gòu)的微加熱器制作工藝研究.pdf

1、微橋主要應(yīng)用在微加熱器、紅外探測器和紅外發(fā)射器上。對于微加熱器,通過制作微橋,可以減小熱導(dǎo),提高微加熱器的溫度,減小能量消耗;對于紅外探測器,通過制作微橋,可以提高探測率和靈敏度;利用微橋,可以提高紅外發(fā)射器的發(fā)射功率。微橋可以作為一個平臺,用于制作更有效的MEMS器件。
　　本文著重從基于硅基片上的2×2元單片集成微加熱器陣列的設(shè)計和制作兩個方面,開展微橋的設(shè)計和工藝制作,內(nèi)容包括:
　　(1)對體硅的濕法腐蝕原理進(jìn)行了研

2、究,對腐蝕工藝進(jìn)行了大量的實驗,在掌握了濕法腐蝕的特點基礎(chǔ)上,確定了與濕法腐蝕工藝兼容的微橋制作方案。
　　(2)系統(tǒng)地分析了微橋的結(jié)構(gòu)特征,按照結(jié)構(gòu)設(shè)計原則并結(jié)合本實驗室實驗條件設(shè)計了微加熱器的結(jié)構(gòu)尺寸,提出了一套完整的制作微加熱器的工藝并設(shè)計了全套掩膜版。
　　(3)利用ANSYS軟件對設(shè)計的微橋結(jié)構(gòu)進(jìn)行了熱學(xué)和力學(xué)有限元分析,為微橋加熱器的優(yōu)化設(shè)計提供了依據(jù)。
　　(4)實驗研究了微加熱器制作的各項工藝,重點研究