基于微橋結(jié)構(gòu)的微加熱器制作工藝研究.pdf

1、微橋主要應(yīng)用在微加熱器、紅外探測(cè)器和紅外發(fā)射器上。對(duì)于微加熱器,通過(guò)制作微橋,可以減小熱導(dǎo),提高微加熱器的溫度,減小能量消耗;對(duì)于紅外探測(cè)器,通過(guò)制作微橋,可以提高探測(cè)率和靈敏度;利用微橋,可以提高紅外發(fā)射器的發(fā)射功率。微橋可以作為一個(gè)平臺(tái),用于制作更有效的MEMS器件。
　　本文著重從基于硅基片上的2×2元單片集成微加熱器陣列的設(shè)計(jì)和制作兩個(gè)方面,開(kāi)展微橋的設(shè)計(jì)和工藝制作,內(nèi)容包括:
　　(1)對(duì)體硅的濕法腐蝕原理進(jìn)行了研

2、究,對(duì)腐蝕工藝進(jìn)行了大量的實(shí)驗(yàn),在掌握了濕法腐蝕的特點(diǎn)基礎(chǔ)上,確定了與濕法腐蝕工藝兼容的微橋制作方案。
　　(2)系統(tǒng)地分析了微橋的結(jié)構(gòu)特征,按照結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)原則并結(jié)合本實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)條件設(shè)計(jì)了微加熱器的結(jié)構(gòu)尺寸,提出了一套完整的制作微加熱器的工藝并設(shè)計(jì)了全套掩膜版。
　　(3)利用ANSYS軟件對(duì)設(shè)計(jì)的微橋結(jié)構(gòu)進(jìn)行了熱學(xué)和力學(xué)有限元分析,為微橋加熱器的優(yōu)化設(shè)計(jì)提供了依據(jù)。
　　(4)實(shí)驗(yàn)研究了微加熱器制作的各項(xiàng)工藝,重點(diǎn)研究