版權說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內容提供方,若內容存在侵權,請進行舉報或認領
文檔簡介
1、W-Ti合金薄膜在微電子等方面具有良好應用前景,通過濺射法制備的W-Ti薄膜(Ti質量分數(shù)為10%-30%)已作為Cu布線擴散阻擋層,既能夠阻擋Cu的擴散義能有效改善Cu與基體(Si和SiO2等)的結合強度,正成為Cu布線擴散阻擋層的主導材料之一。因此研究與開發(fā)出制備工藝簡單、致密度高、且具有單相富鎢固溶體的W-Ti合金靶材成為目前的研究熱點。
本文通過采用冷等靜壓+液相燒結法制備了W-10Ti合金靶材,在確定了適宜的冷等
2、靜壓壓制工藝后,在相同的燒結工藝前提下,主要研究了不同粒度的W粉和TiH2顆粒對W-10Ti合金靶材的組織與性能的影響。研究得出以下結論:
1.冷等靜壓壓制不同粒度的W粉與TiH2粉末優(yōu)化的壓制壓力為260MPa,保壓時間5min。
2.微米級W粉與TiH2粉的壓坯通過液相燒結制備的W-10Ti合金組織中,W和Ti含量分布比較均勻,形成了相對單一的富W固溶體,該相中Ti含量達到g.Og%,但致密度較低;納米級
3、W粉與TiH2粉末通過液相燒結制備的W-10Ti合金致密度最高,達到97.3%,但這種方法制備的合金組織中并沒有形成相對單一的富W固溶體相,形成了較多的富Ti固溶體相。
3.相對于分別選用單一納米W粉、單一微米W粉與TiH2粉為原料制備的W-10Ti合金,選用納米與微米W粉級配后再與TiH2粉混合后制備W-10Ti合金,得到的合金致密度和組織均有很大改善,且隨著納米與微米W粉級配比的減少,致密度有所降低,但形成的富W固溶體
4、相卻有增多的趨勢。
4.通過對比分別采取300nm的W粉和800nm的W粉與常規(guī)W粉級配后與TiH2燒結得到的樣品可以發(fā)現(xiàn),選取300nm的W粉參與級配后得到的W-10Ti合金的性能要好于800nm的W粉參與級配;對比確定選用級配比為1:2的300nm的W粉與常規(guī)微米W粉和TiH2混合燒結后可以得到致密度95%左右,且富W固溶體相較多的W-10Ti合金。
5.將經(jīng)球磨時間為24h的TiH2顆粒與級配比為1:2
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- W-10Ti合金制備及其組織研究.pdf
- 液相燒結法制備鐵基復合材料.pdf
- 液相燒結法制備鐵基復合材料(1)
- W-10Ti合金的微觀組織調控和性能改善.pdf
- 燒結法制備磁性磨料.pdf
- 固溶體合金的結晶
- 固相燒結法制備鈦酸鋇陶瓷材料課程設計
- W-10%Ti合金的制備工藝研究.pdf
- 基于液相燒結的W-Ni-Fe合金防輻射屏蔽材料的制備研究.pdf
- 機械合金化與燒結法制備鋯基非晶合金及其性能研究.pdf
- 高熵固溶體合金的相組成和力學性能研究.pdf
- ITO靶材制備及燒結機理研究.pdf
- Fe-Ti-O固溶體的制備及其儲鋰性能的研究.pdf
- 釩基固溶體貯氫合金的制備及性能研究.pdf
- 液相燒結制備鎢基合金屏蔽材料的實驗研究.pdf
- 液相燒結和粉體軋制備Cu-Cr合金.pdf
- Ga摻雜ZnO陶瓷靶材燒結制備工藝研究.pdf
- 燒結法制備復合廢渣微晶玻璃的研究.pdf
- 固體燒結法和溶膠-凝膠法制備鐵酸鉍.pdf
- Mg-Ti基固溶體儲氫性能研究.pdf
評論
0/150
提交評論