化學(xué)氣相熱解合成碳納米管陣列薄膜.pdf_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、本文研究了兩種工藝制度合成碳納米管陣列薄膜的過(guò)程，第一種方式是通過(guò)分布在多晶Al2O3和石英襯底上的金屬鐵鹽，高溫催化裂解C2H4制備碳管薄膜；另一種方式是以二茂鐵為催化劑，各種不同有機(jī)碳?xì)浠衔餅樘荚矗捎靡合嘧⑷敕椒?，在高溫氣相化學(xué)熱解制備碳管陣列。以二甲苯為碳源，通過(guò)優(yōu)化合成溫度、催化劑濃度和載氣流量等反應(yīng)條件，在H2或Ar/H2氣氛中，能夠在石英襯底上制備出高度為150 μm的多壁碳納米管(MWNTs)陣列。實(shí)驗(yàn)采用雙注射法取代

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