恒流發(fā)射碳納米管陣列的制備.pdf

1、碳納米管自發(fā)現(xiàn)以來，其獨(dú)特的結(jié)構(gòu)和優(yōu)秀的性能使得它在場致發(fā)射領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，碳納米管被認(rèn)為是最理想的場致發(fā)射材料。但是在實(shí)驗(yàn)中，碳納米管可能在場致發(fā)射過程中出現(xiàn)局部大電流過熱，導(dǎo)致碳納米管與基底接觸處融化而真空擊穿打火，使發(fā)射陣列徹底損壞。本文設(shè)計(jì)一種恒流發(fā)射的碳納米管陣列模型，不會出現(xiàn)電流過載。根據(jù)此模型我們將碳納米管直接生長在恒流二極管陣列上，通過恒流二極管陣列來控制場致發(fā)射中碳納米管的電流，使得碳納米管在場致發(fā)射中不會出現(xiàn)電

2、流過載，防止其出現(xiàn)打火。
　　本論文的主要內(nèi)容包括：
　　（1）恒流發(fā)射碳納米管陣列的模型設(shè)計(jì)。通過對打火現(xiàn)象的分析，設(shè)計(jì)出恒流發(fā)射的碳納米管陣列，解決這一問題。
　　（2）恒流二極管的設(shè)計(jì)和制備。設(shè)計(jì)出達(dá)到我們要求的恒流二極管，并通過半導(dǎo)體工藝制備恒流二極管。詳細(xì)分析了氧化、隔離層、柵極、源漏極、電極接觸孔、電極等制備工藝對恒流二極管性能的影響。最后對恒流二極管的性能進(jìn)行測試。
　　（3）碳納米管陣列的制備。使