恒流發(fā)射碳納米管陣列的制備.pdf

1、碳納米管自發(fā)現(xiàn)以來(lái)，其獨(dú)特的結(jié)構(gòu)和優(yōu)秀的性能使得它在場(chǎng)致發(fā)射領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，碳納米管被認(rèn)為是最理想的場(chǎng)致發(fā)射材料。但是在實(shí)驗(yàn)中，碳納米管可能在場(chǎng)致發(fā)射過(guò)程中出現(xiàn)局部大電流過(guò)熱，導(dǎo)致碳納米管與基底接觸處融化而真空擊穿打火，使發(fā)射陣列徹底損壞。本文設(shè)計(jì)一種恒流發(fā)射的碳納米管陣列模型，不會(huì)出現(xiàn)電流過(guò)載。根據(jù)此模型我們將碳納米管直接生長(zhǎng)在恒流二極管陣列上，通過(guò)恒流二極管陣列來(lái)控制場(chǎng)致發(fā)射中碳納米管的電流，使得碳納米管在場(chǎng)致發(fā)射中不會(huì)出現(xiàn)電

2、流過(guò)載，防止其出現(xiàn)打火。
　　本論文的主要內(nèi)容包括：
　　（1）恒流發(fā)射碳納米管陣列的模型設(shè)計(jì)。通過(guò)對(duì)打火現(xiàn)象的分析，設(shè)計(jì)出恒流發(fā)射的碳納米管陣列，解決這一問(wèn)題。
　?。?）恒流二極管的設(shè)計(jì)和制備。設(shè)計(jì)出達(dá)到我們要求的恒流二極管，并通過(guò)半導(dǎo)體工藝制備恒流二極管。詳細(xì)分析了氧化、隔離層、柵極、源漏極、電極接觸孔、電極等制備工藝對(duì)恒流二極管性能的影響。最后對(duì)恒流二極管的性能進(jìn)行測(cè)試。
　?。?）碳納米管陣列的制備。使