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文檔簡介
1、本文首先介紹了控制理論與溫度控制的發(fā)展概況，然后對多片式MOCVD系統(tǒng)及其溫度控制對象、控制方式和控制特點進行研究，表明MOCVD設(shè)備溫度控制系統(tǒng)具有“非線性”、“大滯后”、“時變”等特點。為實現(xiàn)對多片式MOCVD設(shè)備的溫度控制，詳細研究基于該設(shè)備的溫度控制算法是非常有必要的。
根據(jù)系統(tǒng)辨識原理，通過處理實驗數(shù)據(jù)，得到多片式MOCVD溫度控制系統(tǒng)的二階近似動態(tài)模型。針對該動態(tài)模型，首先研究了用于溫度控制中的典型控制算法：P
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