溫度控制系統(tǒng)外文翻譯--光刻投影鏡頭多閉環(huán)溫度控制系統(tǒng)

1、 畢業(yè)設(shè)計(jì)(論文)外文資料翻譯學(xué) 院： 院： 機(jī)械工程學(xué)院 專 業(yè)： 業(yè)： 機(jī)械設(shè)計(jì)制造及其自動(dòng)化 姓 名： 名： 學(xué) 號(hào)： 號(hào)： 指導(dǎo)老師： 指導(dǎo)老師： 附 件：

2、件： 1.外文資料翻譯譯文；2.外文原文。 指導(dǎo)教師評(píng)語(yǔ)：簽名： 年 月 日由于集成電路縮小，更小的臨界尺寸（CD）要求，生產(chǎn)過(guò)程的控制越來(lái)越嚴(yán)格。作為最重要的制造工藝設(shè)備，先進(jìn)的光學(xué)光刻工具需要更嚴(yán)格的微控制環(huán)境[1]，如嚴(yán)格控制其溫度、潔凈度、氣壓、濕度等。溫度波動(dòng)，特別是導(dǎo)致圖像失真和平面圖像轉(zhuǎn)變，成為了光學(xué)光刻工具對(duì)圖像質(zhì)量影響的一個(gè)關(guān)鍵因素。投影鏡頭(PL)內(nèi)的溫度精度要求一個(gè)光刻工具在

3、接近 0.01℃制造一個(gè)小于 100 nm 的模型。另外需要 PL 內(nèi)部溫度收斂率快以降低光刻技術(shù)的所有權(quán)（CoD）的成本. 然而，實(shí)現(xiàn)這些目標(biāo)是一個(gè)很大的挑戰(zhàn)，因?yàn)榧訜崞骱屠鋮s器控制溫度要求操作遠(yuǎn)離 PL[2], 否則其性能將被它們的振動(dòng)和污染所破壞。另一個(gè)原因是，PL 內(nèi)部結(jié)構(gòu)復(fù)雜，它包含數(shù)十個(gè)鏡頭，會(huì)導(dǎo)致幾個(gè)小時(shí)慣性，所以 PL 內(nèi)部的溫度反應(yīng)相當(dāng)緩慢，并需要很長(zhǎng)時(shí)間去調(diào)整適應(yīng)。因此，一個(gè)新的結(jié)構(gòu)和控制算法是 PL 內(nèi)部溫度控制的

4、必要和重要部分。許多溫度控制結(jié)構(gòu)已經(jīng)被提出了。著名的經(jīng)典方法之一是被廣泛應(yīng)用于簡(jiǎn)單或低精度溫度控制系統(tǒng)的單閉環(huán)回路控制結(jié)構(gòu)【3】 。當(dāng)被控對(duì)象變得更加復(fù)雜或產(chǎn)生分布式干擾時(shí)，串級(jí)控制結(jié)構(gòu)（CCS）的提出改善了精度和收斂率【4，5】 。預(yù)測(cè)前饋控制結(jié)構(gòu)已被證明具有更好的滯后系統(tǒng)性能。另一種有效的方法，并行串級(jí)控制結(jié)構(gòu)（PCCS） ，也開發(fā)了具有延遲分布式干擾的系統(tǒng)。但是上述使用方法，很難實(shí)現(xiàn) PL 內(nèi)部溫度控制的高精確度和快收斂率。在此，

5、本文提出了一種新的方法，即多閉環(huán)溫度控制系統(tǒng)，含有一個(gè)內(nèi)部 CCS和一個(gè)外部 PCCS。本文大致分為四個(gè)部分。第一部分解釋了一個(gè)遠(yuǎn)程間接溫度控制方法的應(yīng)用。第二部分是一個(gè)多閉環(huán)回路溫度控制結(jié)構(gòu)的分析。第三部分，一個(gè)雙進(jìn)雙出非線性比例積分（PI）算法的提出用來(lái)提高控制過(guò)程的收斂速度和精度。在文章的最后一部分，對(duì)比實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了系統(tǒng)的有效性這種顯示，最后，給出了結(jié)論。2 遠(yuǎn)程間接溫度控制方法 遠(yuǎn)程間接溫度控制方法為了防止震動(dòng)和污染影響 PL