犧牲層版圖信息提取及開口模型匹配研究.pdf

1、隨著微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）科研開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化的快速發(fā)展，MEMSCAD的需求日益顯現(xiàn)。MEMS表面制造加工技術(shù)中的犧牲層腐蝕技術(shù)對器件的性能有著重要影響，因此利用MEMSCAD技術(shù)對犧牲層腐蝕過程進(jìn)行模擬和控制對MEMS器件的制造有著重要的指導(dǎo)意義。 實(shí)用化的犧牲層腐蝕模擬必須建立與版圖的連接，通過版圖定義具體的犧牲層腐蝕區(qū)域。這就要求能夠直接從版圖讀取犧牲層和腐蝕開口的信息，包括具體的犧牲層形狀、尺寸、開口位置等，在此基礎(chǔ)上

2、利用合適的腐蝕模型對它進(jìn)行腐蝕模擬。 目前，國內(nèi)外的研究工作主要是針對犧牲層腐蝕腐蝕模型的建立，已經(jīng)可以實(shí)現(xiàn)對一些基本結(jié)構(gòu)例如懸臂梁、固支梁、圓形、矩形以及復(fù)雜的組合結(jié)構(gòu)等的模擬。但都是通過指定一個(gè)具體結(jié)構(gòu)，有針對的進(jìn)行建模與分析。直接由版圖定義犧牲層圖形、開口位置以及類型的犧牲層工藝模擬尚未見報(bào)道。本文的研究工作圍繞基于版圖的犧牲層腐蝕模擬方法和相關(guān)軟件開發(fā)。 研究工作完成了版圖解釋、犧牲層分析、開口位置判斷、以及相關(guān)

3、模型調(diào)用的方法研究與相關(guān)軟件的編制和調(diào)試，已經(jīng)能夠成功地讀入并分析以CIF格式描述的版圖，實(shí)現(xiàn)了犧牲層釋放窗口的定位與類型判別。在此基礎(chǔ)上通過犧牲層與結(jié)構(gòu)層版圖坐標(biāo)的比較，實(shí)現(xiàn)了在正、負(fù)兩種版圖中對三種基本腐蝕類型的判斷，并能分別單獨(dú)顯示。對于每一種腐蝕類型，導(dǎo)出與腐蝕模型對應(yīng)的腐蝕參數(shù)，導(dǎo)入腐蝕模型并將腐蝕參數(shù)導(dǎo)入模型實(shí)現(xiàn)了對犧牲層釋放過程的模擬。 軟件包括框架管理系統(tǒng)、版圖解析模塊、結(jié)構(gòu)選擇模塊和腐蝕模擬模塊。本論文采用MF