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1、 隨著信息技術(shù)的日益發(fā)展,人們對(duì)信息的傳遞速度、儲(chǔ)存能力、處理功能提出更高要求。硅(Si)電子集成電路受到器件尺寸和Si中電子運(yùn)動(dòng)速度的限制。硅基發(fā)光材料就是由于其在硅基光電子集成方面的潛在應(yīng)用而成為人們關(guān)注的焦點(diǎn)。 目前,越來(lái)越多的實(shí)驗(yàn)表明PS的光激發(fā)與量子限制效應(yīng)有關(guān),而PS的輻射復(fù)合主要與表面態(tài)或表面發(fā)光中心有關(guān)。在應(yīng)用研究方面,對(duì)于PS的光致發(fā)光,我們可以很容易的獲得多孔硅的紅光到黃光發(fā)射,但其發(fā)光效率偏低,而且發(fā)光性質(zhì)很
2、不穩(wěn)定,對(duì)制備和存放條件的變化非常敏感。因此如何提高多孔硅的發(fā)光效率、增強(qiáng)其穩(wěn)定性,以及擴(kuò)大多孔硅發(fā)光的波長(zhǎng)范圍,成為近年來(lái)該領(lǐng)域研究的熱點(diǎn)?! ≡诒菊撐闹?,我們首先采用一種全新的電化學(xué)沉積法,在非水溶劑(乙醇)中,制得了室溫下有強(qiáng)的光致熒光發(fā)射的納米氧化鋅,并對(duì)其形成條件,形成機(jī)理進(jìn)行了系統(tǒng)的研究。通過(guò)X射線衍射和透射電鏡電子衍射分析確認(rèn)樣品為氧化鋅,具有纖鋅礦結(jié)構(gòu)。熒光分析采用PERKINELMERLuminescenceSpec
3、trometer和960CRT分光光度計(jì),并用能帶理論解釋了氧化鋅熒光發(fā)射的機(jī)理?! ∑浯?,我們使用納米ZnO對(duì)多孔硅進(jìn)行修飾,一種方法是用新制多孔硅做陰極,在乙醇中,采用前面的方法在多孔硅的表面制得了一層納米氧化鋅薄膜,另一種方法是用磁控濺射的方法在新制多孔硅上濺射了一層納米氧化鋅薄膜,濺射所用氧化鋅靶為分析純氧化鋅壓制而成。將兩種方法制得的多孔硅/氧化鋅樣品在N2保護(hù)下300℃退火30min。使用金相顯微鏡對(duì)退火前后的樣品進(jìn)行了表
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