基于DCS的潔凈廠房設備監(jiān)控系統(tǒng)的設計與應用.pdf

1、近幾年來隨著半導體產業(yè)的迅速發(fā)展,潔凈廠房也已成為世界各國頗為重視的一項技術。針對半導體集成電路行業(yè)而言，潔凈室最重要之作用之一在于控制產品(如夕晶片等)所接觸的空氣的潔凈度及溫濕度以及室內壓力，使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造。而以上這些指標的控制應由潔凈室空調系統(tǒng)、排風系統(tǒng)、空氣濾網系統(tǒng)、配電系統(tǒng)等各個子系統(tǒng)來協(xié)同完成。 因而如何設計并配置一套性能先進、安全可靠的設備監(jiān)視和控制系統(tǒng)成為潔凈廠房建設時需重點考慮的核心問題。

2、 本文以某大型集成電路制造廠設備監(jiān)控系統(tǒng)工程為背景，首先從工程項目的實際要求出發(fā)，初步地分析了潔凈廠房設備監(jiān)控系統(tǒng)需控制的對象以及基本的控制要求。再從被控對象的特征入手，深入討論潔凈廠房設備監(jiān)控系統(tǒng)的控制方式，提出了基于西門子PCS7平臺的分布式控制系統(tǒng)（DCS）實現(xiàn)方案。 在控制方案上，重點以新風潔凈空調機組為研究對象，著重探討潔凈空調溫濕度的控制方案。結合焓濕圖分析了空氣處理過程，應用溫濕度解耦方法，在此基礎上設計了基于

3、PID串級控制的溫濕度控制策略。為了達到精確的壓力值控制，采用排風風量相對恒定而對新風風機轉速進行控制的方式，來達到恒定室內壓力值的目的?？紤]精確度和節(jié)能效果，本工程通過壓差傳感器或風速傳感器等敏感元件來控制新風風機變頻器，調節(jié)新風機的風量， 針對常規(guī)PID控制在實際使用中所體現(xiàn)出的不足，本文基于模糊控制的原理，研究并設計了適合于高精度潔凈室濕度的混合模糊-PI控制器，通過原理分析和系統(tǒng)仿真，探討了模糊控制應用于潔凈廠房設備監(jiān)控