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1、論文研究目的有兩個(gè):一,重點(diǎn)研究有限單元法在微結(jié)構(gòu)中的應(yīng)力應(yīng)變分析運(yùn)用;二,基于有限單元法和ANSYS軟件,分析被檢測(cè)斜鍥應(yīng)變和電容傳感器中E型膜應(yīng)力,設(shè)計(jì)薄膜微量應(yīng)變傳感結(jié)構(gòu).一般微量應(yīng)變測(cè)量方法,主要是用電阻應(yīng)變片、半導(dǎo)體敏感材料粘貼被測(cè)物體表面或是嵌入被測(cè)物體內(nèi)部,這種方式在工業(yè)機(jī)器內(nèi)部具體應(yīng)用時(shí)存在缺陷:一,傳感器所處環(huán)境惡劣,影響半導(dǎo)體傳感器精度與穩(wěn)定性;二,當(dāng)機(jī)器零部件尺寸精度高、參數(shù)不能改變、零部件之間間隙微小時(shí),傳感器無
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