車用熱膜式空氣質(zhì)量流量傳感器的研究.pdf

1、空氣流量計(jì)是測量空氣流量的一種重要工具，它起源于20世紀(jì)初，一直廣泛用于流體速度測量，并且在20世紀(jì)60年代以后曾一度是流體測速領(lǐng)域中的主要技術(shù)之一。隨著近年來微電子技術(shù)和微加工技術(shù)的發(fā)展，采用微結(jié)構(gòu)的熱線(膜)式傳感器的功耗大幅度降低，并具有更快的熱動(dòng)態(tài)響應(yīng)速度，使得熱線(膜)式傳感器的研究和應(yīng)用又一次受到了重視，汽車電子的發(fā)展給熱線(膜)式空氣流量傳感器的應(yīng)用帶來了更廣泛空間。在發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣量直接檢測法中，由于熱線(膜)式空氣流量傳感

2、器的輸出直接反映了空氣質(zhì)量流量的大小，無需進(jìn)行空氣密度補(bǔ)償，因而被廣泛用于汽車電控發(fā)動(dòng)機(jī)。
　　本文采用恒溫工作方式的測量原理，設(shè)計(jì)了一種低成本、熱動(dòng)態(tài)響應(yīng)快的熱膜式流量計(jì)。在自己搭建的流量計(jì)標(biāo)定試驗(yàn)臺上對所設(shè)計(jì)的熱膜式流量計(jì)進(jìn)行了靜態(tài)標(biāo)定，根據(jù)試驗(yàn)數(shù)據(jù)，對傳感器非線性靜態(tài)特性的建模方法進(jìn)行了研究，為ECU(ElectronicControlUnit)根據(jù)傳感器輸出計(jì)算空氣流量和進(jìn)行控制算法的仿真研究和實(shí)際應(yīng)用奠定了基礎(chǔ)。本文分別