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文檔簡介
1、光電二極管是基于光生伏特效應(yīng)的一種光電探測器件,其用途十分廣泛,在此基礎(chǔ)上,如果將pn結(jié)做的很淺還可以制得紫外探測用光電二極管。
本文先是介紹了硅光電探測器的分類及其發(fā)展過程,接下來介紹了器件的工作原理、基本特性及簡單的工作電路,回顧了傳統(tǒng)的形成淺結(jié)的兩種方法,提出了本文形成淺結(jié)的方法,研究了具體的工藝參數(shù),并使用本文提出的方法制作了光電二極管。
最后,測試了制作的器件的各項性能,分析了需要改進(jìn)的地方,事實證
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