600V系列VDMOS器件的計算機輔助設計.pdf

1、VDMOS器件具有開關速度快、輸入阻抗高和負溫度系數等一系列優(yōu)點，是當前半導體分立器件的高端產品，應用范圍廣，市場需求大，發(fā)展前景好。目前國內的市場已經被國外大公司所壟斷，大部分依賴進口。因此國內急需自主研發(fā)并量產具有自主知識產權的相關產品，替代國外產品。半導體產業(yè)是一個具有高度競爭性的行業(yè)，新產品推向市場所需時間的長短、開發(fā)成本的高低是企業(yè)成敗與否的關鍵所在。因此，本文提出了600V系列VDMOS器件的計算機輔助設計方法。 本

2、文首先模擬了外延層參數和終端結構對器件擊穿電壓的影響，元胞結構與參數對導通電阻的影響；并在模擬過程中著重對VDMOS器件準飽和效應成因進行了深入研究，分析了影響VDMOS器件最大輸出電流的因素，提出了一種有效地提高器件最大輸出電流的方法；針對VDMOS器件的非均勻摻雜的短溝道，分析了影響閾值電壓的因素，提出了閾值電壓的調節(jié)方法。然后，針對具體的VDMOS器件生產線，提出了600V系列VDMOS器件的版圖設計規(guī)則。最后，借助計算機設計了1