磁控濺射TiNi和TiNiCe合金薄膜的組織結構與光學特性.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩75頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

1、 本文利用射頻磁控濺射方法制備了TiNi與TiNiCe合金薄膜。通過掃描電子顯微分析(SEM)、原子力顯微分析(AFM)、X射線衍射分析(XRD)、透射電子顯微分析(TEM)、橢圓偏振法和分光光度光譜法系統(tǒng)地研究薄膜的表面特性、微觀結構和光學特性。 分析了TiNi和TiNiCe合金薄膜母相折射率和消光系數(shù)均隨氬氣偏壓的增加而增大；隨濺射功率增大，TiNiCe合金薄膜母相折射率增大，而消光系數(shù)無明顯變化的特性。

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論