熱解石墨柵極毛坯沉積工藝研究及應(yīng)用.pdf

1、本文首先對(duì)熱解石墨材料的性能進(jìn)行了討論，并就其在大功率、超大功率電子管中的應(yīng)用作了分析，指出了熱解石墨作為柵極材料的優(yōu)越性能；然后通過試驗(yàn)研究和討論，獲得了優(yōu)化的石墨柵極毛坯沉積工藝，完成了課題目標(biāo)。
　　為了使旭光電子股份有限公司順利實(shí)現(xiàn)從熱解石墨柵極毛坯沉積到柵極成品的生產(chǎn)，本人作為工藝研究人員，對(duì)熱解石墨柵極毛坯沉積工藝進(jìn)行了詳細(xì)、深入的研究。在本課題研究工作中，采用了丙烷有機(jī)碳?xì)浠衔餁怏w和稀釋用氮?dú)?、氬氣，在高?800

2、℃左右的真空條件下試驗(yàn)研究了熱解石墨柵極毛坯的沉積。在研究過程中，試驗(yàn)了在不同溫度下采用相同的氣體比例和流量沉積熱解石墨柵極毛坯；還試驗(yàn)了在相同溫度下，采用不同的氣體比例、不同的流量沉積熱解石墨柵極毛坯；同時(shí)，試驗(yàn)了在相同工藝條件下采用不同的稀釋氣體沉積石墨柵極毛坯；為了獲得厚度合適的石墨柵極毛坯，試驗(yàn)了不同溫度下采用不同的沉積時(shí)間來沉積毛坯；對(duì)不同溫度下沉積的毛坯進(jìn)行了X射線衍射分析、密度分析及晶相分析。通過大量試驗(yàn)研究和生產(chǎn)實(shí)踐，摸

3、索并優(yōu)化出不同品種規(guī)格的石墨柵極毛坯沉積的氣體流量、沉積溫度、沉積壓強(qiáng)、沉積時(shí)間等參數(shù)，能夠順利地沉積出性能優(yōu)良的小型、大型的各類品種的石墨柵極毛坯，滿足了公司大功率及超大功率電子管的電參數(shù)要求，保證了新產(chǎn)品的成功開發(fā)。
　　生產(chǎn)實(shí)踐表明，熱解石墨柵極毛坯常見的缺陷有：開裂、分層、石墨瘤、碳黑夾雜等，其中開裂為主要廢品。分析發(fā)現(xiàn)，導(dǎo)致石墨柵極毛坯開裂的主要原因是毛坯厚度偏厚、毛坯尖角應(yīng)力過大、殘余應(yīng)力過大等。通過嚴(yán)格控制沉積工藝參