版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、多孔陶瓷是一種新型陶瓷材料,具有密度低、氣孔率高、抗腐蝕、耐高溫和使用壽命長等優(yōu)點(diǎn),能在較大溫度范圍內(nèi)正常使用,可以作為一種理想的新型高性能透波候選材料。較高氣孔率的存在有效降低了陶瓷材料的介電常數(shù),其主要不足之處在于吸潮現(xiàn)象導(dǎo)致的電學(xué)性能不穩(wěn)定和多孔結(jié)構(gòu)引起的力學(xué)性能降低,這一系列問題的解決可以通過在多孔結(jié)構(gòu)的表面形成致密化涂層的處理來實(shí)現(xiàn)。 氮化硅陶瓷是結(jié)構(gòu)陶瓷中綜合性能最好的材料之一,它的電學(xué)、熱學(xué)和機(jī)械性質(zhì)十分優(yōu)良,在氧
2、化氣氛中可以使用到1400℃,在中性或者還原性氣氛中可以使用到1850℃。氮化硅陶瓷既具有優(yōu)于一般陶瓷材料的機(jī)械性能和熱穩(wěn)定性能,又具有較低的介電常數(shù)和介電損耗,在半導(dǎo)體、航空航天工業(yè)上應(yīng)用廣泛,尤其是在航天透波材料(天線罩、天線窗)的研制方面取得了很大的進(jìn)展。 化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝被廣泛應(yīng)用于沉積碳化物、氮化物、硅化物、硼化物、氧化物等各種單晶、多晶或其它無定形態(tài)的無機(jī)涂層材料。數(shù)據(jù)顯示,與其它制備工藝相比,CVD法所得
3、氮化硅涂層介電常數(shù)更低,介電損耗隨溫度變化更小。由于先進(jìn)設(shè)備及理論探討等方面的不足,國內(nèi)在沉積工藝及機(jī)理等方面的研究工作還剛剛起步,處于初步探討階段,遠(yuǎn)遠(yuǎn)達(dá)不到系統(tǒng)化、實(shí)用化的要求。 基于以上考慮,本論文采用低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)工藝分別在多孔石英陶瓷和多孔氮化硅陶瓷材料基體上制備致密化的氮化硅涂層。首先根據(jù)化學(xué)氣相沉積氮化硅涂層所涉及的主要化學(xué)反應(yīng)體系的特點(diǎn),確定甲硅烷/氨氣體系為反應(yīng)前驅(qū)體,并系統(tǒng)討論了該體系化學(xué)氣相
4、沉積氮化硅涂層所涉及的相關(guān)熱力學(xué)和動(dòng)力學(xué)過程,討論了熱力學(xué)相圖在預(yù)測(cè)指導(dǎo)化學(xué)反應(yīng)過程中的作用和意義。然后在單晶硅基體上沉積氮化硅涂層,系統(tǒng)考察反應(yīng)氣體配比、沉積溫度及體系壓力等工藝參數(shù)對(duì)材料微觀結(jié)構(gòu)和性能的影響,確定最佳工藝條件。最后分別在多孔石英陶瓷基體和多孔氮化硅陶瓷基體上沉積了均勻致密的氮化硅涂層,系統(tǒng)分析了各沉積工藝參數(shù)對(duì)涂層與基體之間結(jié)合強(qiáng)度的影響,通過對(duì)所得復(fù)合材料進(jìn)行吸潮率、抗彎強(qiáng)度和介電性能的表征,探討氮化硅涂層對(duì)多孔基
5、體力學(xué)性能和介電性能的影響。 實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,以甲硅烷與氨氣為反應(yīng)前驅(qū)體、氬氣為保護(hù)氣、氮?dú)鉃檩d氣,保持硅烷流量為200sccm、氨氣流量為1000sccm、反應(yīng)體系工作壓力為100Pa,900℃下沉積30min可以得到沉積速率較大(~85A/min)、粒徑尺寸較小(~0.2μm)、表面致密性較好的近化學(xué)計(jì)量比非晶態(tài)氮化硅涂層材料;多孔石英陶瓷材料和多孔氮化硅陶瓷材料表面沉積氮化硅涂層后,其力學(xué)性能分別提高45%和20%以上,介電
6、常數(shù)ε變化均小于0.05,介電損耗tgδ的變化均小于1×10-3,在經(jīng)歷濕熱、泡水等惡劣環(huán)境后,介電常數(shù)ε變化均小于0.09,介電損耗tgδ的變化分別小于3×10-3和4×10-3,說明氮化硅涂層有效降低了大氣環(huán)境水分對(duì)多孔石英陶瓷材料和多孔氮化硅陶瓷材料介電性能的影響,為提高此類材料使用過程中電學(xué)性能的穩(wěn)定性起到了重要作用;沉積工藝參數(shù)對(duì)涂層附著力的影響趨勢(shì)與基體材料的選擇關(guān)系不大。而且各工藝參數(shù)對(duì)涂層與基體結(jié)合強(qiáng)度的影響不是單獨(dú)的,
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 制備工藝與氮化硅顯微結(jié)構(gòu)及性能的相關(guān)性.pdf
- 多孔氮化硅基陶瓷表面涂層的制備.pdf
- 氮化硅基多孔陶瓷的制備及性能研究.pdf
- 多孔氮化硅陶瓷及其涂層材料的研究.pdf
- 多孔氮化硅陶瓷的制備及其性能的研究.pdf
- 稻殼氮化硅基多孔陶瓷的低溫制備及性能研究.pdf
- 氮化硅基多孔陶瓷材料的制備.pdf
- 氮氧化物涂層氮化硅陶瓷刀具的制備及性能研究.pdf
- 多孔氮化硅復(fù)相透波陶瓷材料的制備及性能研究.pdf
- PECVD氮化硅薄膜制備與微結(jié)構(gòu)研究.pdf
- 高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷的制備及性能研究.pdf
- 晶種摻雜氮化硅陶瓷的制備及性能研究.pdf
- 氮化硅粉體特性對(duì)氮化硅陶瓷基板制備工藝及其性能的影響.pdf
- 氮化硅陶瓷空心浮力球的制備及性能研究.pdf
- 多孔氮化硅透波材料的制備與性能研究.pdf
- Nd-YAG透明陶瓷的制備、顯微結(jié)構(gòu)及激光性能研究.pdf
- 醫(yī)用多孔NiTi合金的微波燒結(jié)制備、顯微結(jié)構(gòu)及性能研究.pdf
- 氮化硅復(fù)相陶瓷材料的制備與性能研究.pdf
- 氮化硅基多孔透波材料制備及其性能表征.pdf
- 納米硅-氮化硅薄膜微結(jié)構(gòu)特性研究.pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論