調(diào)頻式電容位移傳感器高速測頻與非線性校正技術(shù)研究.pdf

1、電容式位移傳感器由于具有結(jié)構(gòu)簡單、分辨率高、動(dòng)態(tài)特性好、能實(shí)現(xiàn)非接觸式測量等特點(diǎn)，在精密加工、高精度定位、超精密測量等領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。電容位移傳感器的輸出信號(hào)較小，而且輸入輸出特性存在一定的非線性，如何實(shí)現(xiàn)電容信號(hào)的提取以及對(duì)其輸入輸出特性進(jìn)行有效的非線性處理就成了影響電容傳感器性能的關(guān)鍵。
　　本文基于調(diào)頻式電容位移傳感器輸出信號(hào)的特點(diǎn)，對(duì)調(diào)頻信號(hào)頻率測量技術(shù)以及非線性校正技術(shù)進(jìn)行深入了的研究，具體研究工作如下：
　　

2、首先，在對(duì)頻率測量的方法進(jìn)行歸納、總結(jié)的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)了以現(xiàn)場可編程門陣列(FPGA)為核心的頻率測量模塊，對(duì)多周期同步測頻進(jìn)行了方法改進(jìn)，實(shí)現(xiàn)FPGA內(nèi)部多周期同步測頻邏輯代碼的編寫；
　　其次，對(duì)基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的非線性校正以及曲線擬合技術(shù)進(jìn)行了研究，設(shè)計(jì)了基于傅立葉級(jí)數(shù)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的非線性校正算法并進(jìn)行仿真，實(shí)現(xiàn)了算法向DSP芯片中程序的移植。
　　再次，研制了基于TMS320VC5402芯片的電容位移傳感器非線性校正和信號(hào)處理