基于氣體電離的氣敏傳感器的研究.pdf

1、在工業(yè)高度發(fā)達(dá)的今天，氣體污染所帶來(lái)的損失已經(jīng)嚴(yán)重威脅到人類的生存，解決問(wèn)題的關(guān)鍵是迅速準(zhǔn)確的檢測(cè)到這些有毒、有污染的氣體，這便是氣敏傳感器發(fā)展的客觀依據(jù)。氣敏傳感器，俗稱電子鼻，是目前比較熱門的新型傳感器技術(shù)。氣敏元件傳感器作為新型敏感元件傳感器在國(guó)家列為重點(diǎn)支持發(fā)展的情況下，發(fā)展到現(xiàn)在已經(jīng)有了一定的基礎(chǔ)。 本課題研究的是一種基于氣體電離的氣敏傳感器。氣體的電離取決于所施加的電場(chǎng)強(qiáng)度。在相同的外加電壓下，電場(chǎng)強(qiáng)度和兩電極間的距

2、離有關(guān)，距離越小，電場(chǎng)強(qiáng)度就越大。因此若能使電極間的距離縮小到幾個(gè)納米，將大大地降低氣體電離所需的外加電壓。在這里，我們用了電鍍的方法來(lái)縮小電極之間的間隙，用在線阻抗監(jiān)測(cè)的方法來(lái)實(shí)時(shí)監(jiān)控電鍍情況，并將得到的信號(hào)用來(lái)反饋控制電鍍，合理的控制電鍍的時(shí)間，尋求最佳的切斷電鍍電源的時(shí)機(jī)，研究不同的電解液濃度不同的電鍍時(shí)間給電極帶來(lái)的間隙和形狀上的影響，找到一種靈活的合理的制造納米間隙電極的方法。 每一種氣體都有自己獨(dú)特的擊穿電壓，在本課