腔面反射率調(diào)制寬條形半導(dǎo)體激光器.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、寬條形半導(dǎo)體激光器即使在低電流注入的情況下也會有多階橫模激射(沿著結(jié)平面方向)從而導(dǎo)致光束質(zhì)量很差。為了增強(qiáng)橫向的選模能力,避免高階模式,設(shè)計(jì)了一種簡單的結(jié)構(gòu)與工藝在注入?yún)^(qū)為100μm寬的寬條形半導(dǎo)體激光器的輸出腔面蒸鍍一定輪廓分布的Si02增透膜,使得增透膜在橫向(平行于結(jié)平面的方向)提供了一個(gè)近高斯分布的反射率。 論文給出了具體的工藝過程,比較了有無分布增透膜的激光器的特性測試及光束質(zhì)量,鍍膜后斜率效率由0.84W/A提高到

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