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1、寬條形半導(dǎo)體激光器即使在低電流注入的情況下也會(huì)有多階橫模激射(沿著結(jié)平面方向)從而導(dǎo)致光束質(zhì)量很差。為了增強(qiáng)橫向的選模能力，避免高階模式，設(shè)計(jì)了一種簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)與工藝在注入?yún)^(qū)為100μm寬的寬條形半導(dǎo)體激光器的輸出腔面蒸鍍一定輪廓分布的Si02增透膜，使得增透膜在橫向(平行于結(jié)平面的方向)提供了一個(gè)近高斯分布的反射率。 論文給出了具體的工藝過(guò)程，比較了有無(wú)分布增透膜的激光器的特性測(cè)試及光束質(zhì)量，鍍膜后斜率效率由0．84W/A提高到
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