一種高性能光譜分析儀的設(shè)計(jì)方案.pdf

1、本文綜合介紹了高性能光譜分析儀的國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì)。系統(tǒng)分析了國(guó)內(nèi)的需求，以及在光譜分析儀領(lǐng)域國(guó)內(nèi)外的差距。根據(jù)光譜分析儀設(shè)計(jì)的基本原理，設(shè)計(jì)出了三種實(shí)現(xiàn)方案：衍射光柵型、Fabry-Perot干涉儀型和Michelson干涉儀型。并對(duì)三種方案的優(yōu)缺點(diǎn)給予了分析和比較。 衍射光柵型光譜分析儀能夠進(jìn)行各種激光器和LED的光譜測(cè)量，其光譜分辨帶寬是可以改變的，且具有測(cè)量波長(zhǎng)范圍寬、靈敏度高、動(dòng)態(tài)范圍大等優(yōu)點(diǎn)。因此，本設(shè)計(jì)采用雙

2、通光柵單色儀加直接驅(qū)動(dòng)直接讀取光柵角位置控制的實(shí)現(xiàn)方案。利用這種雙通光柵單色儀可同時(shí)獲得單光柵單色儀的高靈敏度和雙光柵單色儀的大動(dòng)態(tài)范圍；在光路中插入經(jīng)精心設(shè)計(jì)的楔形延遲板，它還可提供優(yōu)良的偏振非敏感特性；準(zhǔn)直和聚焦系統(tǒng)選用高品質(zhì)拋物面反射鏡可降低單色儀的尺寸要求，以便于將整個(gè)儀器的體積降到最小限度，同時(shí)，由于反射系統(tǒng)無(wú)色差，所以該系統(tǒng)還有助于提高儀器的分辨率。高分辨率直接驅(qū)動(dòng)直接讀取衍射光柵角位置的控制系統(tǒng)不僅可消除傳統(tǒng)齒輪減速機(jī)構(gòu)固