半導(dǎo)體代工廠潔凈室的設(shè)計(jì)、監(jiān)控和管理案例分析.pdf

1、在半導(dǎo)體代工廠中，潔凈室系統(tǒng)為整條生產(chǎn)線提供潔凈的環(huán)境，是硅芯片賴以生產(chǎn)加工最基本的條件。潔凈室，是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)的溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一特定需求范圍內(nèi)。因此潔凈室系統(tǒng)的運(yùn)行狀態(tài)對(duì)硅芯片品質(zhì)和良率的影響舉足輕重。本文是通過作者參加的建廠和正常運(yùn)行管理期間的潔凈室系統(tǒng)工作經(jīng)驗(yàn)，并結(jié)合國內(nèi)外半導(dǎo)體代工廠業(yè)者的經(jīng)驗(yàn)和教訓(xùn)，對(duì)潔凈室系

2、統(tǒng)的工程設(shè)計(jì)、建造及運(yùn)行管理方面進(jìn)行典型案例的分析，尤其針對(duì)工程設(shè)計(jì)、管理以及在運(yùn)行過程中的常見的典型問題，給出了較為全面的問題分析和對(duì)策。本論文首先從半導(dǎo)體代工廠的潔凈室系統(tǒng)的組成、分類和工作原理進(jìn)行全面系統(tǒng)的闡述，針對(duì)不同的潔凈度、溫濕度要求，進(jìn)行潔凈室系統(tǒng)的選型和設(shè)計(jì)規(guī)劃，并對(duì)潔凈室系統(tǒng)的監(jiān)控和管理進(jìn)行了分類研究。緊接著本文著重針對(duì)空氣分子污染(AMC)和溫濕度異常波動(dòng)兩類運(yùn)行中的典型問題進(jìn)行了深入的探究，然后給予系統(tǒng)思考的思路及

3、有效對(duì)策。本人的主要研究結(jié)果如下：第一，對(duì)于半導(dǎo)體代工廠的潔凈室，設(shè)計(jì)規(guī)劃至關(guān)重要，因此在設(shè)計(jì)階段應(yīng)考慮怎樣可以既節(jié)能環(huán)保又經(jīng)濟(jì)實(shí)用。第二，當(dāng)前半導(dǎo)體制程技術(shù)發(fā)展迅猛，芯片線寬已經(jīng)進(jìn)入納米級(jí)，因此半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)AMC的控制愈顯重要。在AMC的控制中的首要步驟是通過監(jiān)測(cè)分析，識(shí)別污染的來源和通過調(diào)整材料和工藝流程以去除污染物。同時(shí)在新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)以及機(jī)臺(tái)側(cè)考慮安裝合適的化學(xué)過濾器，來保護(hù)生產(chǎn)環(huán)境。第三，對(duì)于潔凈室內(nèi)某區(qū)域溫濕度異常波動(dòng)，需要