半導體代工廠潔凈室的設計、監(jiān)控和管理案例分析.pdf

1、在半導體代工廠中，潔凈室系統(tǒng)為整條生產線提供潔凈的環(huán)境，是硅芯片賴以生產加工最基本的條件。潔凈室，是指將一定空間范圍內的空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內的溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一特定需求范圍內。因此潔凈室系統(tǒng)的運行狀態(tài)對硅芯片品質和良率的影響舉足輕重。本文是通過作者參加的建廠和正常運行管理期間的潔凈室系統(tǒng)工作經驗，并結合國內外半導體代工廠業(yè)者的經驗和教訓，對潔凈室系

2、統(tǒng)的工程設計、建造及運行管理方面進行典型案例的分析，尤其針對工程設計、管理以及在運行過程中的常見的典型問題，給出了較為全面的問題分析和對策。本論文首先從半導體代工廠的潔凈室系統(tǒng)的組成、分類和工作原理進行全面系統(tǒng)的闡述，針對不同的潔凈度、溫濕度要求，進行潔凈室系統(tǒng)的選型和設計規(guī)劃，并對潔凈室系統(tǒng)的監(jiān)控和管理進行了分類研究。緊接著本文著重針對空氣分子污染(AMC)和溫濕度異常波動兩類運行中的典型問題進行了深入的探究，然后給予系統(tǒng)思考的思路及

3、有效對策。本人的主要研究結果如下：第一，對于半導體代工廠的潔凈室，設計規(guī)劃至關重要，因此在設計階段應考慮怎樣可以既節(jié)能環(huán)保又經濟實用。第二，當前半導體制程技術發(fā)展迅猛，芯片線寬已經進入納米級，因此半導體潔凈室內AMC的控制愈顯重要。在AMC的控制中的首要步驟是通過監(jiān)測分析，識別污染的來源和通過調整材料和工藝流程以去除污染物。同時在新風、循環(huán)風以及機臺側考慮安裝合適的化學過濾器，來保護生產環(huán)境。第三，對于潔凈室內某區(qū)域溫濕度異常波動，需要