基于PLC的半導(dǎo)體潔凈室空調(diào)控制系統(tǒng)的設(shè)計與應(yīng)用.pdf

1、在半導(dǎo)體行業(yè)中，潔凈室的作用在于控制半導(dǎo)體產(chǎn)品所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能夠在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，而合格的潔凈室參數(shù)指標(biāo)皆通過控制潔凈室空調(diào)系統(tǒng)來實現(xiàn)，因此設(shè)計一套技術(shù)先進、運行穩(wěn)定可靠且維護方便的空調(diào)控制系統(tǒng)便成為建造半導(dǎo)體晶圓廠潔凈室時需要考慮的關(guān)鍵問題。
　　本論文來源于國內(nèi)某300mm半導(dǎo)體晶圓制造廠的FMCS（廠務(wù)中央監(jiān)控系統(tǒng)）項目，提出了基于PLC的分布式控制系統(tǒng)在半導(dǎo)體潔凈室技術(shù)中的實際應(yīng)用方案，

2、通過設(shè)置合理的控制算法，準(zhǔn)確、實時的對溫濕度及正壓差等潔凈室參數(shù)進行控制，減少其波動對生產(chǎn)工藝的影響，節(jié)能減排，并獲得良好的經(jīng)濟效益。
　　在控制方案中，結(jié)合焓濕圖進行溫濕度解耦，確定露點溫度為潔凈室控制指標(biāo)并選取合理的露點溫度計算方法;優(yōu)化新風(fēng)空調(diào)的空氣處理過程，采用完全除濕模式，避免了在季節(jié)更替時期由加濕和除濕模式的頻繁切換所產(chǎn)生的擾動，并設(shè)計了基于PID串級控制的露點溫度控制模式;結(jié)合潔凈室生產(chǎn)設(shè)備的工藝布局，采用PID串級

3、控制實現(xiàn)正壓差控制并提出新風(fēng)空調(diào)機組的群控策略，保證潔凈室新風(fēng)量的持續(xù)穩(wěn)定供應(yīng)。
　　控制方案中的PLC下位機系統(tǒng)采用羅克韋爾公司的ControlLogix體系結(jié)構(gòu)，PLC處理器主機架和控制層網(wǎng)絡(luò)采用雙冗余結(jié)構(gòu)設(shè)計，實現(xiàn)了控制系統(tǒng)硬件故障下的無擾切換，程序設(shè)計做到了結(jié)構(gòu)化和標(biāo)準(zhǔn)化;SCADA上位機系統(tǒng)采用GE Cimplicity（服務(wù)器/客戶端）分布式網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)及冗余設(shè)計，利用OPC通信的方式，實現(xiàn)多任務(wù)處理及多用戶訪問;短信報警