材料微納米級表層硬度測試系統(tǒng)的研制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著超精密、微納米加工技術和微機電系統(tǒng)等的發(fā)展應用，迫切需要微納米級表層質量的檢測和評價方法。在微納米尺度下，材料會出現(xiàn)尺寸效應和表面效應等，其力學性能與宏觀材料有著本質的不同，傳統(tǒng)的硬度檢測和評定方法已不再適用。納米壓痕技術是一種先進的材料微納米硬度測量方法，可以滿足對微小零件表面力學性能的檢測。
　　本文針對微小零件加工技術的發(fā)展和應用需要，研制了一套用于微小零件表面力學性能檢測的電磁式微納米硬度檢測系統(tǒng)，并應用此檢測系統(tǒng)進行

2、了納米壓痕試驗研究。
　　在比較分析了各種微位移驅動方式和檢測方式的基礎上，確定了電磁式微位移驅動和電容式微位移檢測方案。研制了一套微納米硬度檢測系統(tǒng)，并對試驗裝置的整體結構進行了設計。
　　研制了微位移驅動和檢測子系統(tǒng)，描述了電磁線圈的設計參數(shù)優(yōu)化、基于運算放大器的電磁驅動電路和電容檢測電路的設計，以及數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的開發(fā)。
　　評定了系統(tǒng)的工作性能，位移分辨率為11.7nm，驅動力分辨率為26.4μN，分析了影響系統(tǒng)

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