納米級微定位平臺的設(shè)計和實驗研究.pdf

1、精密定位技術(shù)是精密制造、精密測量、精密工程等微觀科學(xué)領(lǐng)域中的關(guān)鍵技術(shù)，微定位平臺是精密定位技術(shù)中的一項重要載體。本文以理論與實驗相結(jié)合研究方法研究了一種壓電陶瓷驅(qū)動的兩自由度微定位工作臺，并對微定位平臺的關(guān)鍵技術(shù)、偽剛體建模技術(shù)、壓電陶瓷驅(qū)動器遲滯非線性及微定位平臺實驗測試進行研究，取得以下研究成果：
　　 設(shè)計了一種壓電陶瓷驅(qū)動，柔性移動副作為支承導(dǎo)軌的微定位平臺，借助有限元分析方法和“偽剛體模型”法，建立平臺的偽剛體模型，分

2、析了微定位平臺解耦特性。
　　 設(shè)計了一種新型的柔性移動副，利用ANSYS有限元軟件對對兩種柔性移動副的靜態(tài)和動態(tài)特性進行了比較，給出了其靜態(tài)、動態(tài)特性。
　　 根據(jù)“偽剛體模型”法思想對復(fù)合平行板移動副和微定位平臺的支承機構(gòu)-雙復(fù)合平行板移動副建立其偽剛體模型，舉例驗證分析的準(zhǔn)確性。
　　 分析了壓電陶瓷驅(qū)動器的驅(qū)動機理，對驅(qū)動器的遲滯非線性特性進行了研究，并且實驗測試了壓電陶瓷驅(qū)動器的遲滯非線性特性，建立壓電