化學(xué)浴沉積ZnS薄膜及其機(jī)理研究.pdf

1、ZnS薄膜廣泛應(yīng)用于各種光電器件。ZnS是一種很好的電致發(fā)光照明材料，商業(yè)上用來(lái)制作電致發(fā)光顯示器，也用于薄膜異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池中作n型窗口層。ZnS薄膜的生長(zhǎng)方法有化學(xué)浴沉積、熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、濺射、噴霧熱解以及最近發(fā)展起來(lái)的脈沖激光沉積。這種材料在太陽(yáng)能電池中需求量很大，急需一種低成本的生長(zhǎng)技術(shù)以降低最終產(chǎn)品的價(jià)格成本。因此，能在低溫條件下低成本地大面積沉積優(yōu)質(zhì)半導(dǎo)體薄膜的化學(xué)浴沉積法成為較合適的技術(shù)之一。
　　 本文是教育

2、部高等學(xué)校博士點(diǎn)學(xué)科專(zhuān)項(xiàng)基金資助項(xiàng)目“寬帶隙II-VI半導(dǎo)體納米薄膜材料的濕化學(xué)合成及性能表征(編號(hào)：20050487034）”的重要組成部分。實(shí)驗(yàn)采用硫酸鋅、硫脲、水合肼和氨水混合溶液于適當(dāng)溫度下在玻璃襯底上沉積得到表面均勻的ZnS薄膜。通過(guò)控制各反應(yīng)參數(shù)，可制得厚度從幾nm至200nm變化的薄膜。
　　 采用X射線(xiàn)衍射(XRD)來(lái)測(cè)試薄膜的微觀結(jié)；采用雙光束分光光度計(jì)(UV-VIS-NIR)來(lái)測(cè)試薄膜的光學(xué)性質(zhì)；用橢偏儀測(cè)量