基于微探針加工技術的分子自組裝過程實驗研究.pdf

1、納米科技作為引領新一代技術革命的技術，近年來在信息、材料、生物、微電子等方面顯示出重要的應用前景。有序納米微結構材料是納米技術的核心和基礎材料之一，如何方便、可控地制備預定結構的納米微結構材料，是當今納米制造的熱點問題。最新發(fā)展起來的嵌段共聚物自組裝技術，能夠自下而上的制備出納米微結構，如何調控嵌段共聚物自組裝過程對制備出高度有序的納米微結構有重要的意義。
　　本課題主要研究基底圖案對嵌段共聚物自組裝過程的調控作用。首先實現了AF

2、M納米加工系統(tǒng)的Z向閉環(huán)加工方式，運用研制的加法器電路實現開環(huán)加工方式與閉環(huán)加工方式的切換。對比了兩種加工方式的特點，最終選擇了對深度控制更加精確的閉環(huán)加工方式作為基底圖案的加工方式。
　　運用AFM納米加工系統(tǒng)在鋁合金及硅材料表面加工出了一系列二維、三維微結構。研究了進給量、垂直載荷對加工深度、表面粗糙度以及圖案形狀精度的影響規(guī)律，分析了采用灰度圖方式能夠加工得到高精度的三維微結構的原因。
　　在加工好的基底上澆鑄SEBS