利用磁增強電暈放電技術(shù)防止激光器鏡腔污染.pdf

1、目前，在很多領(lǐng)域內(nèi)，激光都得到了廣泛而又充分的應(yīng)用。對激光器而言，由于腔鏡污染而影響光束質(zhì)量的問題是制約激光器技術(shù)使用與發(fā)展的主要原因。造成污染的因素很多，其中主要的非本身因素是來自外界環(huán)境中的細小氣溶膠顆粒對腔鏡的污染。同時，激光發(fā)生器所產(chǎn)生的水滴、堿性液滴及碘的氣相、液相混和物，也會通過波紋管和光闌口進入光腔盒。另外，原來存留在腔內(nèi)的污染顆粒，也會在激光器工作時形成氣溶膠。這些污染顆粒會對腔鏡造成污染，從而嚴重降低光束的質(zhì)量，影響其

2、正常的使用。能夠在不妨礙激光器正常運行的前題下，有效防止上述氣溶膠顆粒對腔鏡的污染，是激光器形成高質(zhì)量光束的必要保證之一。 由于激光光線要在發(fā)生器內(nèi)傳送，由于光的特性，我們無法使用傳統(tǒng)的方法，如篩網(wǎng)過濾的方法來進行凈化。因此，在激光器開機運行的狀態(tài)下，如何能同步地消除污染顆粒，并防止后續(xù)污染成為了一個新的技術(shù)難題。 為了實現(xiàn)激光器鏡腔的高度凈化，我們采用了磁增強電暈放電技術(shù)。 我們設(shè)計了一套鏡腔防污染系統(tǒng)：該系統(tǒng)