巨磁阻磁頭在真空鍍膜工序中靜電防護的研究.pdf

1、在電腦硬盤制造業(yè)中，靜電的防護與控制是一項極富有挑戰(zhàn)性的工作,它貫穿于每一個細節(jié)之中。真空鍍膜工序是巨磁阻磁頭加工制造過程中非常重要的工序。因為它存在嚴重的靜電破壞問題，所以其工序產(chǎn)出能力非常低，因而形成一個工序瓶頸。必須徹底地解決它，否則，它將給公司帶來巨大的災難。本文將對真空鍍膜工序中巨磁阻磁頭遭受靜電破壞的原因進行仔細地研究，并提出解決方案。
　　本文從巨磁阻效應和巨磁阻磁頭的工作原理出發(fā)，介紹了巨磁阻磁頭的內部結構及其等效

2、電路，并闡述其靜電放電失效機理，也進一步地做了模擬仿真測試。
　　接著，以磁頭加工生產(chǎn)線為背景，本文對真空鍍膜工序的靜電破壞問題做了深入仔細地研究。結果發(fā)現(xiàn)靜電破壞問題只存在于預清洗環(huán)節(jié)之中，而與鍍硅和鍍類金剛石薄膜環(huán)節(jié)無關，并分析了預清洗環(huán)節(jié)產(chǎn)生靜電破壞問題的原因是帶電的氬離子直接作用于磁條表面，產(chǎn)生復雜的物理效應，導致巨磁阻磁頭元件帶電，且?guī)щ娏客黄屏司薮抛璐蓬^承受的極限值。針對預清洗環(huán)節(jié)的三個工藝參數(shù)，本文進一步做了詳細的研

3、究，結果表明預清洗時間和輸入功率對靜電壞品有顯著的貢獻，而真空室氣壓在允許調節(jié)的范圍內對靜電壞品無明顯影響。
　　最后，針對真空鍍膜工序嚴重的靜電破壞問題，本文提出了兩套不同的解決方案：基于工藝參數(shù)調整的短期方案和基于產(chǎn)品設計的長期方案?；镜?，利用上述兩套方案，可以有效地解決真空鍍膜工序的靜電破壞問題。它不但可以為公司節(jié)約每年350萬美元原材料成本，帶來巨大的經(jīng)濟效益，而且可以大大地提升產(chǎn)品品質和縮短生產(chǎn)周期。
　　本文所