大角度離子注入機(jī)垂直掃描機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì).pdf

1、垂直掃描機(jī)構(gòu)是大角度離子注入機(jī)的一個(gè)非常關(guān)鍵的組件，它將高速直線運(yùn)動從靶室外大氣環(huán)境傳遞到靶室內(nèi)高真空環(huán)境，使裝有晶片的靶盤高速升降運(yùn)動，形成離子束垂直方向按要求的高速機(jī)械掃描。
　　 隨著器件工藝的發(fā)展，離子注入設(shè)備從傳統(tǒng)的多片高速旋轉(zhuǎn)靶發(fā)展到當(dāng)今的單晶片大角度注入靶，為不使晶片局部過熱，要求單晶片靶升降掃描速度高達(dá)數(shù)百毫米每秒，同時(shí)，靶室真空度的好壞和靶室內(nèi)顆粒數(shù)量的多少是影響晶片成品質(zhì)量非常重要的因素。如果真空度達(dá)不到要求

2、，會導(dǎo)致離子束發(fā)散度變大、束流損失增大、產(chǎn)生中性束以及引起離子束的不純等危害；如果靶室顆粒數(shù)量超標(biāo)，則會使晶片形成缺陷，當(dāng)缺陷密度達(dá)到一定值時(shí)，元器件就會失效。
　　 本文根據(jù)大角度離子注入機(jī)的垂直掃描結(jié)構(gòu)方案和有關(guān)參數(shù)，對垂直掃描機(jī)構(gòu)的氣體軸承和真空差分密封部分進(jìn)行了設(shè)計(jì)和性能計(jì)算。主要進(jìn)行了氣體潤滑基礎(chǔ)理論研究，建模與計(jì)算方法的闡述，氣體軸承主要結(jié)構(gòu)參數(shù)選定，性能分析和方法準(zhǔn)確性的驗(yàn)證。文中沒有采用傳統(tǒng)的方法去求解雷諾方程，