表面等離子體晶體在半導(dǎo)體發(fā)光器件中的應(yīng)用.pdf_第1頁(yè)
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1、本論文對(duì)表面等離子體這一物理現(xiàn)象的性質(zhì)進(jìn)行了論述,這種現(xiàn)象被認(rèn)為是光與導(dǎo)體表面的電子相互作用產(chǎn)生的。本文介紹了研究這種現(xiàn)象的主要方法,特別是對(duì)金屬膜上亞波長(zhǎng)周期性結(jié)構(gòu)的透射增強(qiáng)現(xiàn)象進(jìn)行了深入的探討,同時(shí),也為將該結(jié)構(gòu)應(yīng)用于半導(dǎo)體發(fā)光器件做了大量的研究工作,論文的主要工作和研究成果如下:
　　 首先,本文分析了980nm波長(zhǎng)的光在透過(guò)制作在金膜上亞波長(zhǎng)周期性孔陣的透射情況,該孔陣為中心帶缺陷孔的三角晶格孔陣,孔陣中的孔均為圓柱形空

2、氣孔。通過(guò)三維時(shí)域有限差分方法進(jìn)行分析表明,調(diào)整孔陣周期和兩種空氣孔的孔徑,可以對(duì)特定波長(zhǎng)的入射光實(shí)現(xiàn)透射增強(qiáng),這種增強(qiáng)現(xiàn)象可以用表面等離子體效應(yīng)解釋。當(dāng)孔陣周期為450nm,中心缺陷孔徑為400nm,孔陣中單個(gè)孔孔徑為150nm時(shí),980nm波長(zhǎng)光透過(guò)該孔陣時(shí)具有明顯的透射增強(qiáng)效應(yīng),并且遠(yuǎn)場(chǎng)(距表面3微米)光斑尺寸被局限在亞波長(zhǎng)尺度(880nm)。
　　 本論文還闡述了在垂直腔面發(fā)射激光器(VCSEL)的基礎(chǔ)上制作表面等離子體

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