正交偏振激光測(cè)量的信號(hào)解調(diào)方法研究.pdf

1、正交偏振激光干涉信號(hào)的解調(diào)是實(shí)現(xiàn)高精度納米級(jí)激光干涉測(cè)量的先決條件之一，現(xiàn)在和將來(lái)都將是整個(gè)激光干涉信號(hào)解調(diào)領(lǐng)域的重點(diǎn)課題。先進(jìn)可靠的正交信號(hào)解調(diào)技術(shù)可以使得激光干涉儀的測(cè)量精度得到大幅度的提高，達(dá)到納米甚至亞納米級(jí)，因此，正交信號(hào)解調(diào)技術(shù)在諸如精密測(cè)量、微電子、超精加工、空間技術(shù)、材料科學(xué)等眾多領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。 本文圍繞正交偏振激光干涉儀的信號(hào)輸出特性，對(duì)正交干涉信號(hào)的相位解調(diào)技術(shù)做了深入的研究探索，重點(diǎn)進(jìn)行了信號(hào)解調(diào)

2、系統(tǒng)硬件設(shè)計(jì)，信號(hào)的非線性誤差校準(zhǔn)研究和條紋細(xì)分技術(shù)設(shè)計(jì)，主要的研究?jī)?nèi)容和取得的成果可歸納如下： 首先，設(shè)計(jì)了低噪聲增益可調(diào)的光電轉(zhuǎn)換電路和抗混疊濾波電路以及非正交信號(hào)正交化預(yù)處理硬件電路，實(shí)現(xiàn)了低噪聲高增益的光電轉(zhuǎn)換和干涉信號(hào)預(yù)處理功能。 其次，研究了激光干涉信號(hào)誤差特性，首次深入討論了基于最小二乘法的橢圓擬合算法參數(shù)誤差特性，給出了校準(zhǔn)算法判據(jù)，并通過設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)，在TMS320VC5416評(píng)估板平臺(tái)上對(duì)其進(jìn)行了驗(yàn)證。