滾轉角誤差測量方法的研究.pdf

1、在精密儀器加工行業(yè)中導軌滾轉角誤差是影響加工工件質量的重要因素之一，而滾轉角誤差測量是所有誤差分量中最難實現(xiàn)的。目前已有的滾轉角測量方法或者測量精度低，或者結構復雜、獨立，不易與其它自由度測量相集成為多自由度誤差測量系統(tǒng)。 本論文研究了一種利用特殊光學元件特性的滾轉角誤差測量方法。系統(tǒng)采用帶有溫控的半導體激光器單模光纖組件作為光源，有效地降低了激光器本身的光線漂移，為滾轉角誤差測量提供了高精度和高穩(wěn)定性的基準光線。采用特殊加工的

2、棱鏡作為敏感單元，通過此棱鏡出射光線直線度測量，間接實現(xiàn)滾轉角誤差測量。系統(tǒng)結構簡單，實時性強，測量頭沒有電纜連接，能滿足長距離移動測量的要求。更為重要的是，此測量方法可以較容易地實現(xiàn)與其它自由度誤差測量相集成，構成多自由度同時測量系統(tǒng)。 本論文完成了系統(tǒng)光路、電路設計和軟件編寫，實現(xiàn)了五自由度誤差測量系統(tǒng)的集成，并進行了實驗驗證和誤差分析。結果表明，系統(tǒng)具有很好的重復性和穩(wěn)定性。通過與電子水平儀的對比實驗，驗證了本文所提出的滾