基于PSD的顯微鏡定位技術(shù)研究.pdf

1、隨著對PSD器件的深入研究以及PSD信號處理器的發(fā)展，PSD已經(jīng)廣泛應(yīng)用于各個領(lǐng)域。目前，在測量領(lǐng)域的應(yīng)用中，PSD已被應(yīng)用于微小距離的測量。但由于PSD制作工藝上仍存在一些不足，所以目前制造的PSD器件所存在的缺點是其輸出信號的線性度并不是很好，對微小距離的測量精度影響較大，但是可以通過PSD的信號處理器對其輸出信號進行一定的非線性補償，減小非線性誤差。因此，通過對其輸出信號的處理實現(xiàn)測量精確度的提高的研究，對PSD在微小距離測量上的

2、應(yīng)用有著重要的意義。 顯微鏡是觀察樣本實驗中常用的實驗儀器，在對樣本觀察點進行精確定位時，其移動量通常在微小距離范圍內(nèi)，實驗結(jié)果受到定位精度的影響。本文介紹一種采用PSD及步進電機的顯微鏡定位裝置；介紹了PSD信號處理方法，提出采用模擬電路計算光點坐標，再通過在單片機中采用雙一次插值的方法對PSD的輸出信號進行非線性處理。所述信號處理器應(yīng)能夠?qū)崿F(xiàn)觀察樣本的位置及位移量的實時顯示，從而讓操作人員可以通過讀取位移數(shù)據(jù)對樣本進行精確定