基于熱光效應(yīng)的可調(diào)Fabry-Perot薄膜濾波器關(guān)鍵技術(shù)的研究.pdf

1、薄膜干涉濾光片具有通帶窄、插入損耗低，溫度穩(wěn)定性好等特點，因此，采用薄膜干涉濾光片作為濾波器的調(diào)諧器件得到了廣泛的研究。
　　本文基于薄膜干涉濾光片熱光調(diào)諧的基本原理，提出了一種熱光可調(diào)Fabry-Perot薄膜濾波器。濾波器的材料是由等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)制備的非晶硅薄膜和氮化硅薄膜構(gòu)成。利用非晶硅薄膜獨特的熱光特性和高的折射率，對非晶硅薄膜和氮化硅薄膜組成的多層介質(zhì)薄膜Fabry-Perot腔加熱，使得非晶硅薄

2、膜的折射率發(fā)生變化，從而達到調(diào)諧透射波長的目的。
　　在理論方面，以Fabry-Perot薄膜濾波片為研究對象，利用多層介質(zhì)薄膜的膜系特征矩陣，對Fabry-Perot濾波片進行了計算分析，設(shè)計了一種垂直結(jié)構(gòu)的熱光可調(diào)Fabry-Perot濾波器。通過改變Fabry-Perot濾波片反射鏡薄膜的層數(shù)和光學(xué)厚度以及中間腔的光學(xué)厚度，獲得了一種窄帶Fabry-Perot可調(diào)諧薄膜濾波器。研究了多腔結(jié)構(gòu)的Fabry-Perot濾波片，通

3、過仿真計算給出了一種采用垂直雙腔結(jié)構(gòu)的平頂Fabry-Perot薄膜濾波器?；贔abry-Perot結(jié)構(gòu)，通過合理的調(diào)整中間腔的個數(shù)和光學(xué)厚度獲得多通道濾波器。通過對Fabry-Perot腔溫度的變化來分析了上述濾波器的調(diào)諧特性，理論分析表明設(shè)計的濾波器具有好的濾波器特性和調(diào)諧特性。
　　在實驗方面，利用等離子體增強化學(xué)氣相沉積（PECVD）技術(shù)來制備a-Si薄膜和SiNx薄膜。主要研究了PECVD的工藝參數(shù)對薄膜的性能的影響。