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1、中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所博士學(xué)位論文基于聚酰亞胺襯底的柔性MEMS技術(shù)及在傳感器中的應(yīng)用研究姓名:肖素艷申請學(xué)位級別:博士專業(yè):微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師:李昕欣車錄鋒20071224用旋涂法,得到了小于10I_tm的各種不同厚度的PDMS薄膜;當分別用三種不同的方法測量PDMS薄膜的厚度時,實驗表明,對相同的PDMS涂層試樣,采用臺階儀測量時,其探針施加lmg力時所測得的厚度與電子掃描顯微鏡測得的厚度相當,而且得到的PD
2、MS薄膜的厚度與探針壓力的關(guān)系為近似的雙曲線;用光學(xué)輪廓儀測量時結(jié)果則偏小。(4)PDMS的濕法和干法刻蝕研究:濕法刻蝕采用甲基吡咯烷酮州MPC16H36FN)和四丁基氟化銨(TBAFC5H9NO)試劑的混合液腐蝕,實驗中發(fā)現(xiàn)側(cè)向腐蝕較嚴重,不能滿足MEMS應(yīng)用的精度要求;干法刻蝕在低溫感應(yīng)耦合等離子刻蝕系統(tǒng)(Alcatel601E)進行,首次采用光刻膠AZ4620為掩??涛gPDMS,并得到比較理想的刻蝕參數(shù):100%SF6,流速200
3、sccm,功率1500W,壓強為O02mbar,平均腐蝕速度為04201arn/min。(5)柔性器件釋放的新方法:首次在液態(tài)PI襯底和剛性載體之間引進PDMS涂覆層作為中間分離層,利用熱膨脹系數(shù)不匹配產(chǎn)生的熱應(yīng)力,可輕易將PI柔性器件從載體上分離下來;在實驗中,將PI結(jié)構(gòu)層的完全同化采用器件分離前和分離后兩個不連續(xù)的加熱方式完成,解決了PDMS不耐高溫的問題,并實現(xiàn)了與MEMS兼容的丁藝。該制作方法與常規(guī)的犧牲層釋放的方法相比,不僅簡
4、化了_T藝,降低了成本,而且提高了成品率。這種方法為其它基于液態(tài)PI襯底的MEMS器件的研究提供了非常有價值的經(jīng)驗。(6)柔性鉑薄膜電阻溫度傳感器的研制:分別以同態(tài)PI和液態(tài)涂覆PI為襯底成功研制出三種制作柔性鉑薄膜電阻溫度傳感器的方法。三種方法制作的鉑薄膜厚度依次為100rim、120nm和120nm,實驗測得三者的電阻溫度系數(shù)分別約為O0023/。C、000291/(2和000280/(2,且均具有良好的線性。并且實驗測試得到:當輸
5、入電流為10mA時,第二種方法制作的鉑薄膜電阻溫度傳感器的平均電阻靈敏度分別為112劍℃;當輸入電流為8mA時,第三種制作的鉑薄膜溫度傳感器的平均電阻靈敏度為0781D/C。與硅基MEMS溫度傳感器相比,簡化了結(jié)構(gòu)和制作工藝,降低了制作成本,特別是減小了溫度傳感器的熱容,因而加快了熱響應(yīng)速度。(7)柔性電容式觸覺力傳感器的研制:以PI為襯底,成功研制出由多層薄膜組成的電容式觸覺力傳感器的制作方法。通過工藝優(yōu)化,在PDMS介電層上額外涂覆
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