基于PID神經(jīng)元網(wǎng)絡的單晶硅提拉速度控制系統(tǒng).pdf

1、眾所周知，集成電路的對稱性比分離元件的好，原因除了器件制作過程中制作工藝不同以外，就是其原材料－單晶硅的質量問題造成的。單晶硅質量的好壞與其生產(chǎn)設備的精度以及結晶過程中熱量運輸是否均勻等因素引起的晶體缺陷多少有關。單晶硅通常是在晶體生長爐中通過提拉制造的，在提拉過程中，提拉速度直接影響熱量運輸及其晶體缺陷，從而影響到單晶硅的質量。 在單晶硅提拉過程中，單晶硅的重量是連續(xù)增長的，且由于單晶硅對直徑精度的要求非常高，所以要求其速度控

2、制系統(tǒng)的動態(tài)響應速度要非?？臁⒊{(diào)量要非常小、抗干擾性能要很強。速度控制系統(tǒng)性能與控制系統(tǒng)的結構、系統(tǒng)所使用器件的性能和控制器所采用的控制方法有關?？刂葡到y(tǒng)中可采用的控制方法多種多樣，如PID控制、模糊控制、專家系統(tǒng)、神經(jīng)網(wǎng)絡控制等，這些控制方法都各有自己的特點?，F(xiàn)行的單晶硅速度控制系統(tǒng)所采用的幾種控制方法，在一定程度上抑制了單晶硅缺陷的產(chǎn)生，比較好的解決了單晶硅的質量問題，但還是存在某些缺陷。 本文首先通過分析晶體結晶過程的熱