線性源共蒸發(fā)銅銦鎵硒薄膜低成本控制系統(tǒng)設計.pdf

1、太陽能發(fā)電是當前綠色新能源的重要組成部分，銅銦鎵硒化合物太陽能電池以其轉(zhuǎn)換效率高、長期穩(wěn)定性好、抗輻射能力強等優(yōu)點成為光伏界的研究熱點。在實驗室成果向市場轉(zhuǎn)化的過程中，實驗室中分散工藝、手工制備的小面積組件與生產(chǎn)中連續(xù)工藝、自動控制的大面積組件其技術要求相差甚遠。國外在共蒸發(fā)薄膜制備中，通過精確控制蒸發(fā)源蒸發(fā)速率實現(xiàn)了大面積組件的批量生產(chǎn)。但采用蒸發(fā)速率實時測控技術，使得整個系統(tǒng)成本提高，控制復雜。因此，設計研究低成本的共蒸發(fā)控制系統(tǒng)，

2、實現(xiàn)高質(zhì)量大面積組件生產(chǎn)，是太陽能電池行業(yè)一直關注的重要問題。 本文以實驗室共蒸發(fā)制備銅銦鎵硒薄膜設備為背景，以實踐中薄膜制備工藝和控制要求為基礎，從共蒸發(fā)制備的低成本控制出發(fā)，使用“三步法”工藝，設計以溫度這個簡單的測控元素為控制因子，建立以薄膜質(zhì)量為控制目標的DCS(Distributed Control system)控制系統(tǒng)模型。通過對整個系統(tǒng)控制原理和總體結(jié)構的分析設計，以可編程控制技術和工控機為手段，重點對硬件實現(xiàn)、