線性源共蒸發(fā)銅銦鎵硒薄膜低成本控制系統(tǒng)設(shè)計(jì).pdf

1、太陽能發(fā)電是當(dāng)前綠色新能源的重要組成部分，銅銦鎵硒化合物太陽能電池以其轉(zhuǎn)換效率高、長期穩(wěn)定性好、抗輻射能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)成為光伏界的研究熱點(diǎn)。在實(shí)驗(yàn)室成果向市場轉(zhuǎn)化的過程中，實(shí)驗(yàn)室中分散工藝、手工制備的小面積組件與生產(chǎn)中連續(xù)工藝、自動控制的大面積組件其技術(shù)要求相差甚遠(yuǎn)。國外在共蒸發(fā)薄膜制備中，通過精確控制蒸發(fā)源蒸發(fā)速率實(shí)現(xiàn)了大面積組件的批量生產(chǎn)。但采用蒸發(fā)速率實(shí)時(shí)測控技術(shù)，使得整個(gè)系統(tǒng)成本提高，控制復(fù)雜。因此，設(shè)計(jì)研究低成本的共蒸發(fā)控制系統(tǒng)，

2、實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量大面積組件生產(chǎn)，是太陽能電池行業(yè)一直關(guān)注的重要問題。 本文以實(shí)驗(yàn)室共蒸發(fā)制備銅銦鎵硒薄膜設(shè)備為背景，以實(shí)踐中薄膜制備工藝和控制要求為基礎(chǔ)，從共蒸發(fā)制備的低成本控制出發(fā)，使用“三步法”工藝，設(shè)計(jì)以溫度這個(gè)簡單的測控元素為控制因子，建立以薄膜質(zhì)量為控制目標(biāo)的DCS(Distributed Control system)控制系統(tǒng)模型。通過對整個(gè)系統(tǒng)控制原理和總體結(jié)構(gòu)的分析設(shè)計(jì)，以可編程控制技術(shù)和工控機(jī)為手段，重點(diǎn)對硬件實(shí)現(xiàn)、