藍寶石襯底上制備Tl-2212薄膜.pdf

1、藍寶石襯底具有出色的微波性能(較低的介電常數(shù)，較低的介電損耗)，極高的熔點，并且在空氣中物性極其穩(wěn)定，因此是比較理想的微波應用襯底材料。 本論文研究了藍寶石襯底上Ce02緩沖層以及TI-2212高溫超導薄膜的制備方法和特性，主要目的是探索生長緩沖層和鉈膜的最佳條件(溫度，壓強，濺射功率，時間等)以及這些條件對薄膜生長的影響程度。同時制備了Mg0為襯底，CeO2為緩沖層的TI-2212高溫超導薄膜，作為研究和比較。 實驗采

2、用RF磁控濺射工藝在藍寶石襯底上濺射CeO2緩沖層，濺射功率120瓦，濺射氣壓6Pa(氬氧混合氣)，濺射時間2小時，選取400-700℃的襯底溫度進行實驗。通過θ-2θ掃描分析該系列緩沖層的相結構可知：襯底溫度在650℃以下會出現(xiàn)非C軸取向的CeO2區(qū)域。濺射功率、氣壓、時長不變的條件下，襯底溫度在700℃時可以得到高質量的CeO2外延薄膜。在此基礎上，再用兩步法在CeO2緩沖層上制備了TI-2212高溫超導薄膜，利用XRD的θ-2θ掃