溶膠凝膠模板法在硅基板上制備鈦酸鋇納米點(diǎn)陣列.pdf_第1頁(yè)
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1、BaTiO3是一種典型的鐵電材料，應(yīng)用極為廣泛，在超高密度集成電子器件逐漸成為主流的趨勢(shì)下，BaTiO3納米點(diǎn)陣列的研究就顯得更為重要。制備納米點(diǎn)陣列的常規(guī)方法主要有光刻、分子束外延、濺射、自組裝、氣相沉積等等。本論文提出一種制備方法——溶膠凝膠模板法，該方法通過把溶膠凝膠工藝和納米孔氧化鋁模板結(jié)合起來制備出了BaTiO3納米點(diǎn)陣列。與其他方法相比具有的重要特征為：溶膠凝膠模板法是非常適合于多元氧化物的，另外就是對(duì)基板沒有特殊的要求。在

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