MOCVD遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計(jì).pdf

1、MOCVD是金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積技術(shù)的簡(jiǎn)稱，即通過MOCVD設(shè)備，在襯底上生長(zhǎng)材料晶體的一種方法。用這種方法生長(zhǎng)出來的晶體可用于各種芯片的制造。這是當(dāng)前研制新型光電材料的重要方法之一。 目前，國(guó)內(nèi)的大多數(shù)MOCVD設(shè)備，其整個(gè)設(shè)備的操作均采用手工來完成，既影響工作效率，又會(huì)對(duì)整個(gè)工藝過程帶來很多誤差和不穩(wěn)定因素，直接造成生長(zhǎng)器件的合格率低，質(zhì)量下降。其次，使用MOCVD設(shè)備的現(xiàn)場(chǎng)噪聲大，工作環(huán)境差，且MOCVD反應(yīng)周期比較長(zhǎng)，

2、對(duì)人工進(jìn)行設(shè)備操作極為不利。因此，為了提高整個(gè)設(shè)備操作的準(zhǔn)確度，為了改善工作環(huán)境，需要利用自動(dòng)控制設(shè)備對(duì)MOCVD設(shè)備的工作過程進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控和管理。而類似MOCVD自動(dòng)控制的電路均由國(guó)外引進(jìn)，成本很高。作者根據(jù)MOCVD工藝過程的特點(diǎn)，設(shè)計(jì)了一套以FPGA為核心的嵌入式監(jiān)控系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)MOCVD工藝的監(jiān)控。 本系統(tǒng)由三個(gè)部分來完成，首先是數(shù)據(jù)采集壓縮部分，采集圖像，溫度，濕度，壓強(qiáng)等數(shù)據(jù)，并進(jìn)行壓縮處理；其次是數(shù)據(jù)傳輸部分，利用