CMOS圖像傳感器像元設(shè)計(jì)及制造工藝優(yōu)化.pdf

1、圖像傳感器屬于光電產(chǎn)業(yè)里的光電元件類(lèi),隨著數(shù)碼技術(shù)、半導(dǎo)體制造技術(shù)以及網(wǎng)絡(luò)的迅速發(fā)展,目前市場(chǎng)和業(yè)界都面臨著跨越各平臺(tái)的視訊、影音、通訊大整合時(shí)代的到來(lái),勾劃著未來(lái)人類(lèi)的日常生活的美景。以其在日常生活中的應(yīng)用,無(wú)疑要屬數(shù)碼相機(jī)產(chǎn)品,其發(fā)展速度可以用日新月異來(lái)形容。隨著近幾年數(shù)字消費(fèi)市場(chǎng)的快速發(fā)展,圖像傳感器的需求量越來(lái)越大,大規(guī)模應(yīng)用于手機(jī)攝像頭,數(shù)碼相機(jī),電腦攝像頭,光電鼠標(biāo),汽車(chē)電子,醫(yī)療電子等。因此,其關(guān)鍵零部件——圖像傳感器產(chǎn)品

2、就成為當(dāng)前以及未來(lái)業(yè)界關(guān)注的對(duì)象,吸引著眾多廠商投入。以產(chǎn)品類(lèi)別區(qū)分,圖像傳感器產(chǎn)品主要分為電荷耦合器件C C D(ChargeCouple Device)和互補(bǔ)性金屬氧化物圖像傳感器C I S(CMOS Image Sensor)兩種。目前,在中高端市場(chǎng),CCD由于其高靈敏度(Sensitivity),更好的信噪比SNR(Signal Noise Ratio),更廣的動(dòng)態(tài)范圍(Dynamic Range)占有絕對(duì)的市場(chǎng)份額,但與之相比

3、,CMOS圖像傳感器由于其低成本,易制造(通用于一般的CMOS制造工藝),低功耗,集成度高(可在同一芯片中實(shí)現(xiàn)A/D轉(zhuǎn)換,信號(hào)處理,自動(dòng)增益控制,精密放大和存儲(chǔ)功能)等明顯的優(yōu)勢(shì)而越來(lái)越有取而代之的趨勢(shì)。
　　 本論文闡述了CMOS圖像傳感器的工作原理,介紹當(dāng)前CIS的發(fā)展?fàn)顩r,主要工作是優(yōu)化設(shè)計(jì)像素單元結(jié)構(gòu),向客戶(hù)提供最好的像元結(jié)構(gòu),并且改良CIS芯片制造工藝,從而提高CMOS圖像傳感器的靈敏度,動(dòng)態(tài)范圍,信噪比和減少暗電流,