激光微熔覆直寫微溫度控制器的關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf

1、由微加熱器和微熱敏傳感器組成的微型溫度控制器具有尺寸小、精度高、功耗低、升溫快等優(yōu)點(diǎn)，可以廣泛應(yīng)用在需要溫度控制的諸多領(lǐng)域。目前，傳統(tǒng)的微加熱器制造主要利用刻蝕、摻雜、光刻、濺射等薄膜工藝來完成，工藝復(fù)雜、成本高，因而研發(fā)新的工藝來制造微加熱器和微熱敏傳感器具有重大的實(shí)用價(jià)值。
　　 本文提出了兩種制備微型溫度控制器的新方法——?jiǎng)蚰z激光直寫法和微筆直寫法。與傳統(tǒng)薄膜工藝相比，該方法大大降低了工藝復(fù)雜性和生產(chǎn)成本。文中詳細(xì)研究了兩

2、種直寫方法制造微加熱器和微熱敏傳感器的技術(shù)和工藝，并成功制備出了微型溫度控制器陣列。本文還通過SEM和熱分析等分析方法，對(duì)微加熱器導(dǎo)電和發(fā)熱的機(jī)理進(jìn)行了探討。
　　 對(duì)所制造的微型溫度控制器進(jìn)行了性能測(cè)試，包括參數(shù)涉及微熱敏傳感器的TCR值、線性度，微熱敏傳感器通電時(shí)間、通電電壓值和空間位置對(duì)溫度的影響。結(jié)果表明，微熱敏傳感器的阻值與溫度近似成線性關(guān)系，線性度小于1.0。微加熱器的溫度隨著通電電壓的增大而升高，隨著通電時(shí)間的延長(zhǎng)