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文檔簡介
1、本文采用激光微熔覆和微筆直寫工藝,將加熱電阻、測溫電阻、測量電極和敏感膜集成在一起,快速制備了膜片型氣敏傳感器。
傳感器采用雙面結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),基片選用5mm×5mm×0.6mm的96%氧化鋁陶瓷。SnO2氣敏漿料采用在乙醇中分散再濃縮的方法配制。傳感器制作過程如下:首先采用激光微熔覆在基片正面制作叉指電極;接著用微筆直寫工藝在基片背面直寫電熱電阻和電極,經(jīng)激光處理,清洗后就可獲得加熱器;然后用微筆直寫工藝在基片正面電極層上制備
2、氣敏膜,最后采用TO-6管封裝就可制得微氣敏傳感器。設(shè)計(jì)并搭建的氣敏測試系統(tǒng)由測試箱、注氣裝置、供電裝置和數(shù)據(jù)采集裝置組成。
實(shí)驗(yàn)表明,激光功率的大小對SnO2氣敏膜的微觀結(jié)構(gòu)和氣敏性能有重要的影響。激光微熔覆制備的氣敏膜在工作溫度250℃下對2000ppm酒精蒸汽的響應(yīng)度最大,為8.6,其響應(yīng)時間和恢復(fù)時間分別為7s和20s;而傳統(tǒng)燒結(jié)的氣敏膜響應(yīng)度為7.4,響應(yīng)時間和恢復(fù)時間分別為10s和25s。由此可見,激光微熔覆和
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