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1、激光自混合干涉技術(shù)是一種精密測(cè)量技術(shù),其測(cè)量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊且具有自準(zhǔn)值能力。該技術(shù)主要應(yīng)用于幾何量傳感測(cè)試及激光器參數(shù)測(cè)量等方面。 光反饋?zhàn)曰旌细缮婕夹g(shù)是新浮現(xiàn)的傳感測(cè)試技術(shù)。本文基于激光自混合干涉技術(shù)對(duì)外部反射體的振動(dòng)幅度進(jìn)行測(cè)量,針對(duì)適度光反饋下被測(cè)物體做簡(jiǎn)諧振動(dòng)的系統(tǒng)進(jìn)行了以下幾個(gè)方面的研究。 首先,從光反饋?zhàn)曰旌细缮嫘?yīng)的基本理論及其數(shù)學(xué)模型出發(fā),建立光反饋?zhàn)曰旌细缮嬲駝?dòng)測(cè)量數(shù)學(xué)模型,研究信號(hào)傾斜的原因及振動(dòng)
2、測(cè)量的特點(diǎn),所得結(jié)論對(duì)振動(dòng)測(cè)量方法的設(shè)計(jì)奠定了理論基礎(chǔ)。 接著,本文建立一種基于適度光反饋?zhàn)曰旌细缮婕夹g(shù)的振動(dòng)測(cè)量算法。本算法通過(guò)選定合適的光反饋水平及激光器線寬展寬因數(shù),得到較純正的鋸齒干涉條紋;對(duì)這種干涉信號(hào)進(jìn)行微分產(chǎn)生相應(yīng)的正負(fù)脈沖,經(jīng)脈沖記數(shù)法獲得整數(shù)條紋部分對(duì)應(yīng)振動(dòng)幅度;然后將整數(shù)部分置零,保留小數(shù)條紋部分進(jìn)行分析,研究半波長(zhǎng)范圍內(nèi)位移的改變對(duì)小數(shù)條紋波形的影響,找出對(duì)應(yīng)關(guān)系,從而對(duì)小數(shù)條紋所對(duì)應(yīng)振動(dòng)幅度進(jìn)行測(cè)量,以實(shí)
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