直拉硅單晶的氧沉淀及內(nèi)吸雜的研究.pdf_第1頁(yè)
已閱讀1頁(yè),還剩130頁(yè)未讀 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、浙江大學(xué)博士學(xué)位論文直拉硅單晶的氧沉淀及內(nèi)吸雜的研究姓名:崔燦申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:博士專業(yè):材料物理與化學(xué)指導(dǎo)教師:楊德仁闕端麟20060401浙江大學(xué)博士論文比氧原子更快,所以硅片近表面的氮濃度很低,不足以促進(jìn)氧沉淀的形成。因此Ncz硅片經(jīng)過(guò)常規(guī)高一低一高IG工藝可以形成完整的Dz,滿足uLsI的需要。研究了CZ和NCz硅片中基于快速熱處理(RTP)的“魔幻潔凈區(qū)”(MDZ)的形成及其熱穩(wěn)定性。結(jié)果表明:通過(guò)RTPLoHi熱處理可以在CZ和

2、NCZ硅片中形成MDz,在RTP及后續(xù)高溫處理中硅片近表面的氧原子已經(jīng)充分的外擴(kuò)散,因此這兩種硅片中的MDz在后續(xù)熱處理中能夠穩(wěn)定存在;氮雜質(zhì)不會(huì)影響MDz的形成,但對(duì)硅片中氧沉淀的分布有影響,這是因?yàn)楣杵砻鎱^(qū)域的氮原子在高溫下充分地夕擴(kuò)散,濃度很低不會(huì)促進(jìn)氧沉淀的產(chǎn)生,而在硅片體內(nèi)的氮原子與RTP引入的空位結(jié)合形成N2V2,抑制了空位的外擴(kuò)散和與自間隙硅原子的復(fù)合,使得RTP處理后硅片中空位的濃度分布比較均勻,因此受空位濃度分布控

3、制的氧沉淀密度分布也比較均勻。研究了中子輻照缺陷對(duì)直拉硅中熱施主的影響,發(fā)現(xiàn)中子輻照缺陷會(huì)引入受主能級(jí),影響熱施主在低溫FTIR光譜中的吸收峰,即在中子輻照硅的低溫FTIR光譜中出現(xiàn)了單電離態(tài)熱施主的紅外吸收峰。此外,中子輻照硅中的氧一空位缺陷還可以作為核心促進(jìn)熱施主的生成,而熱施主是氧沉淀在低溫?zé)崽幚碇行纬傻难醭恋硐闰?qū)體,因此中子輻照硅中的氧一空位缺陷可以促進(jìn)氧沉淀核心的形成。研究了中子輻照直拉硅中氧空位復(fù)合體對(duì)氧沉淀的影響。發(fā)現(xiàn)中子

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論