基于條紋畸變方法檢測(cè)掠入射拋物面鏡面形的研究.pdf

1、目前對(duì)X射線掠入射拋物面鏡研究較多的是其成形控制機(jī)理,而對(duì)其面形檢測(cè)的研究仍然處于探索階段。本文深入探討了一種基于條紋反射對(duì)拋物面鏡簡(jiǎn)單又高效的測(cè)量方法。利用PC機(jī)顯卡的雙屏功能,在其中一個(gè)顯示器上顯示計(jì)算機(jī)產(chǎn)生水平和豎直的兩種情況下的正弦條紋圖樣,通過(guò)CCD采集待測(cè)鏡反射而變形的條紋圖樣,并且利用四步相移法計(jì)算出相應(yīng)的相位變化。然后,利用枝切法對(duì)四步相移法計(jì)算出的包裹相位進(jìn)行展開。再由成像原理推導(dǎo)出梯度與相位變化的對(duì)應(yīng)關(guān)系。由于得到的

2、梯度場(chǎng)為離散梯度,需要通過(guò)數(shù)值積分(本文利用的是傅里葉變換積分法)重建面形,從而完成對(duì)拋物面鏡面形的測(cè)量。
　　本文首先對(duì)實(shí)驗(yàn)進(jìn)行模擬。主要分為兩部分:第一,利用計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)和驗(yàn)證四步相移,相位展開,面形重建的關(guān)鍵算法。第二,模擬整個(gè)實(shí)驗(yàn)流程,即從變形的條紋重建出面形。然后,搭建了實(shí)驗(yàn)測(cè)量系統(tǒng),對(duì)掠入射拋物面鏡進(jìn)行面形實(shí)測(cè),采集到豎直與水平條紋,然后進(jìn)行面形重建。驗(yàn)證了測(cè)量方法的可行性。并且分析了各種誤差源對(duì)測(cè)量精度的影響。