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1、微通道結(jié)構(gòu)是具有多孔結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體器件，很多領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用，如微通道板，微全分析系統(tǒng)，微型熱傳導(dǎo)器件以及微型化工設(shè)備等。然而硅微通道在增益提高、圖像分辨率改善方面比傳統(tǒng)的玻璃纖維微通道板更有優(yōu)越性。隨之而發(fā)展起來的電化學(xué)腐蝕技術(shù)具有高深寬比和成本低廉的優(yōu)點(diǎn)，在硅微通道的制備過程中被廣泛使用。
因此，在硅微通道電化學(xué)腐蝕后的平坦化處理及清洗工藝也蓬勃發(fā)展起來，本文詳細(xì)分析了拋光液pH值、壓力、拋光液注入流量及工作臺(tái)轉(zhuǎn)速等因素
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