SO型芯片引腳共面性在線光電質檢儀的設計與實現(xiàn).pdf

1、SO(Small Out-line)型芯片的引腳共面性(平整度)直接關系到后續(xù)回流焊的可靠性。目前大部分廠家采用人工目檢的方法對SO型芯片共面性進行檢測,但隨著生產廠家生產速度的提高和上游組裝廠家對引腳共面性精度要求的提高,人工目檢的弊端越來越凸現(xiàn)。
　　用于SO型芯片引腳共面性的快速在線質檢儀器技術一直被日本、德國等少數(shù)幾個國家壟斷,因而造成該類儀器價格昂貴,難以在生產線上推廣。為了滿足國內廠家對經濟型在線共面性檢測的需求,本文

2、提出了一種集光、機、電、圖像處理技術于一體的儀器設計方案。本文闡述了該儀器的檢測原理與設計方法,并最后創(chuàng)新地成功研制成了商品樣機,為我國微電子制造業(yè)提供了一種新機型,對我國微電子行業(yè)的技術進步做出了積極的貢獻。
　　本文是作者學位研究成果的總結,作者對以下幾個主要方面進行了研究:
　　1、詳細論述了匹配該檢測儀器的大視場(視場直徑達28mm),高分辨率攝錄物鏡的設計方法,并運用MTF函數(shù)對設計出的物鏡進行評價。最后闡述了基于

3、價值工程原理的CCD的選擇方法。
　　2、設計了與光學系統(tǒng)相匹配的照明系統(tǒng),并對雜散光的產生以及傳播途徑進行了分析,提出了幾種處理雜散光的有效辦法。
　　3、通過分析比較,選擇了適合本儀器的運動方案,闡述了基于該方案的運動控制系統(tǒng)的工作原理,并對步進電機驅動及其細分原理和電路設計進行了詳細的論述。
　　4、介紹了圖像處理的執(zhí)行步驟,闡述了圖像的獲取和預處理,并詳細論述了引腳端面和基準端面的掃描識別方法。
　　在近