基于微壓印的微光學(xué)器件制造技術(shù)研究.pdf

1、GaN-LED固態(tài)照明的研究發(fā)展至今，如何提高其發(fā)光效率是一個迫在眉睫的課題。研究表明，GaN-LED的內(nèi)部量子效率可以達到70％以上，而外部量子效率僅為14％，因此如何改善LED的外部量子效率是固態(tài)照明的重要課題之一。 針對提高LED出光效率的研究，本文結(jié)合熱壓印工藝，提出了一種非接觸式熱壓印制作微透鏡陣列的方法。相對于其它方法有以下優(yōu)勢：簡單易行的工藝過程，低廉常見又有著良好光學(xué)特性的材料，大面積大批量快速制作的可行性，好的

2、器件質(zhì)量。并通過制作微透鏡和光柵，論證了壓印工藝的優(yōu)勢。 本文首先介紹了現(xiàn)行的提高LED的各種方法，并指出在LED芯片上制作微結(jié)構(gòu)是比較有效的思路。首先，針對熱壓印中所使用的材料進行了分析和比較，選定了本文壓印試驗的聚合物材料，并進行了熱壓印特性試驗。在熱壓印模板制作方面，選取了光學(xué)光刻結(jié)合ICP刻蝕的方法制作了石英模板，并對石英模板質(zhì)量進行了分析。在壓印試驗方面，研究了壓印參數(shù)對樣品成型的影響，并對PMMA、PS和PC的熱壓成