氣動(dòng)膜片式微滴噴射系統(tǒng)研究.pdf

1、微滴噴射技術(shù)是從噴墨打印技術(shù)發(fā)展而來的一種微量流體分配技術(shù)，它作為一種新興的直寫式精密加工技術(shù)廣泛的應(yīng)用于微電子和微系統(tǒng)封裝、三維打印、有機(jī)半導(dǎo)體器件制作和生命科學(xué)與化學(xué)分析中。
　　 本文首先總結(jié)了連續(xù)式微滴噴射和按需式(DOD)微滴噴射的原理，并在此基礎(chǔ)上提出了一種DOD 式的氣動(dòng)膜片式微滴噴射系統(tǒng)，其主要針對高溫下的微米級液滴噴射。
　　 該微滴噴射系統(tǒng)利用自制的微米級玻璃噴嘴，包括溫度控制、運(yùn)動(dòng)控制、氣壓控制和高

2、速成像四個(gè)子系統(tǒng)。
　　 本文通過水的噴射實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了此氣動(dòng)膜片式微滴噴射系統(tǒng)的可行性，并利用高速攝像技術(shù)對噴射過程進(jìn)行拍照，從照片中提取出數(shù)據(jù)對噴射過程進(jìn)行分析，確定了微滴噴射過程中的幾個(gè)主要因素及其對噴射過程的影響：背壓、驅(qū)動(dòng)壓力、脈沖高電平時(shí)間、脈沖頻率、放氣孔和噴嘴疏水性，其中放氣孔和噴嘴疏水性對噴射的影響極大。
　　 本文經(jīng)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了該微滴噴射系統(tǒng)能產(chǎn)生一致性較好的微滴，液滴的尺寸波動(dòng)范圍在3[％]以內(nèi)，液滴的大